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Wechsel Nano Systems, Alemanha
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Modelo 656 Medidor de intensidade e energia ultravioleta

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Visão geral

O modelo 656 é projetado e fabricado pela OAI. $r$n é aplicável a todos os fotógrafos de passo de wafer com medidores de intensidade e energia UV do tipo 656.

Detalhes do produto

Model 656 紫外线光强与能量计


Modelo 656 Medidor de intensidade e energia ultravioleta

Por mais de meio século, a OAI tem trabalhado no setor de instrumentos de medição de intensidade e energia ultravioleta para o controle confiável e preciso da calibração de processos fotográficos em setores como semicondutores, sistemas microeletromecânicos (MEMS), embalagens de wafers e fabricação de pontos convexos de wafers. O novo modelo 656 é um analisador de exposição UV* projetado para alinhadores de máscaras de contato/proximidade e sistemas de exposição a inundação. O instrumento pode armazenar até 400 conjuntos de leituras de exposição e está equipado com interfaces Ethernet e USB para baixar dados de medição registrados, com uma intensidade de luz de até 2.000 mW por centímetro quadrado. Os comprimentos de onda opcionais da sonda incluem 220 nm, 248 nm, 260 nm, 310 nm, 325 nm, 365 nm, 380 nm, 400 nm, 420 nm, 436 nm e 540 nm. A OAI possui um laboratório completo de calibração para garantir o desempenho, a qualidade e a confiabilidade dos nossos instrumentos. Os instrumentos do tipo 656 são rastreáveis ​​pelo Instituto Nacional de Normas e Tecnologia (NIST) dos EUA e cumprem os requisitos de certificação RoHS 2 (Diretiva sobre a Restrição do Uso de Certos Componentes Perigosos em Equipamentos Elétricos e Eletrônicos, 2ª Edição) e CE (Avaliação Europeia de Conformidade).

Para uso com alinhadores de contato / proximidade

Extremamente preciso e confiável

Dados de medição fáceis de baixar

Alcance de até 2000 mW por centímetro quadrado

Armazenamento de até 400 conjuntos de dados de medição

Conforme aos padrões ROHS2 (Diretiva sobre a Restrição do Uso de Certos Componentes Perigosos em Equipamentos Elétricos e Eletrônicos, segunda edição) e CE (Avaliação Europeia de Conformidade), destacando as propriedades do produto em termos de proteção ambiental e conformidade, para ilustrar cenários de adaptação do instrumento, vantagens de desempenho e conformidade.

Especificações do modelo 656 UV e do energômetro

Especificações do instrumento

Interface do usuário: tela táctil

Interface de computador: Interfaces Ethernet e USB opcionais para baixar dados de medição gravados

Alimentação: alimentada por bateria, com bateria de íons de lítio recarregável de 3,7 V com proteção contra recarrega

Fonte de alimentação do carregador: 110 - 240V AC

Configurações de exibição: tela dupla

Configurar tela - Endereço Ethernet, data e hora

Tela de execução - comprimento de onda, intensidade de luz, tempo, dose, temperatura da sonda, tipo de sonda, percentual de desvio, número de série, data de validade da calibração, estado da bateria, número de série da sonda e estado do carregador

Capacidade de armazenamento: até 400 leituras

Faixa de intensidade de luz: até 2000mW / cm²

Resolução: 0.01mW/cm²

Dosagem: até 1000J/cm²

Resolução da dose: 0.01mJ / cm²

Intervalo de tempo: até 9999 segundos

Resolução do tempo: 0.0001 segundos

Exposição mínima: 25 ms

Tamanho: 14 polegadas x 8,25 polegadas x 3,5 polegadas

Peso: 3,5 libras

Ambiente de trabalho: 15 ℃ - 40 ℃

Conformidade: em conformidade com ROHS2 e CE (compatibilidade eletromagnética e segurança)

Especificações da sonda

Detector de sonda: Fotodiodo de silício

可选波长: 220nm, 248nm, 254nm, 260nm, 310nm, 325nm, 365nm, 380nm, 400nm, 420nm, 436nm 和 540nm

Filtro: Filtro de absorção multicamada / eletrônico

Faixa de intensidade de luz: até 2000mW / cm²

Intercambiabilidade: qualquer sonda do tipo 656 pode ser usada com qualquer medidor do tipo 656

Conformidade: em conformidade com ROHS2 e CE (compatibilidade eletromagnética e segurança)