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Sala 2802, Edifício T4, Centro de Yixuan, Distrito de Bao'an, Shenzhen
Wechsel Nano Systems, Alemanha
Sala 2802, Edifício T4, Centro de Yixuan, Distrito de Bao'an, Shenzhen

Por mais de meio século, a OAI tem trabalhado no setor de instrumentos de medição de intensidade e energia ultravioleta para o controle confiável e preciso da calibração de processos fotográficos em setores como semicondutores, sistemas microeletromecânicos (MEMS), embalagens de wafers e fabricação de pontos convexos de wafers. O novo modelo 656 é um analisador de exposição UV* projetado para alinhadores de máscaras de contato/proximidade e sistemas de exposição a inundação. O instrumento pode armazenar até 400 conjuntos de leituras de exposição e está equipado com interfaces Ethernet e USB para baixar dados de medição registrados, com uma intensidade de luz de até 2.000 mW por centímetro quadrado. Os comprimentos de onda opcionais da sonda incluem 220 nm, 248 nm, 260 nm, 310 nm, 325 nm, 365 nm, 380 nm, 400 nm, 420 nm, 436 nm e 540 nm. A OAI possui um laboratório completo de calibração para garantir o desempenho, a qualidade e a confiabilidade dos nossos instrumentos. Os instrumentos do tipo 656 são rastreáveis pelo Instituto Nacional de Normas e Tecnologia (NIST) dos EUA e cumprem os requisitos de certificação RoHS 2 (Diretiva sobre a Restrição do Uso de Certos Componentes Perigosos em Equipamentos Elétricos e Eletrônicos, 2ª Edição) e CE (Avaliação Europeia de Conformidade).
Para uso com alinhadores de contato / proximidade
Extremamente preciso e confiável
Dados de medição fáceis de baixar
Alcance de até 2000 mW por centímetro quadrado
Armazenamento de até 400 conjuntos de dados de medição
Conforme aos padrões ROHS2 (Diretiva sobre a Restrição do Uso de Certos Componentes Perigosos em Equipamentos Elétricos e Eletrônicos, segunda edição) e CE (Avaliação Europeia de Conformidade), destacando as propriedades do produto em termos de proteção ambiental e conformidade, para ilustrar cenários de adaptação do instrumento, vantagens de desempenho e conformidade.
Especificações do instrumento
Interface do usuário: tela táctil
Interface de computador: Interfaces Ethernet e USB opcionais para baixar dados de medição gravados
Alimentação: alimentada por bateria, com bateria de íons de lítio recarregável de 3,7 V com proteção contra recarrega
Fonte de alimentação do carregador: 110 - 240V AC
Configurações de exibição: tela dupla
Configurar tela - Endereço Ethernet, data e hora
Tela de execução - comprimento de onda, intensidade de luz, tempo, dose, temperatura da sonda, tipo de sonda, percentual de desvio, número de série, data de validade da calibração, estado da bateria, número de série da sonda e estado do carregador
Capacidade de armazenamento: até 400 leituras
Faixa de intensidade de luz: até 2000mW / cm²
Resolução: 0.01mW/cm²
Dosagem: até 1000J/cm²
Resolução da dose: 0.01mJ / cm²
Intervalo de tempo: até 9999 segundos
Resolução do tempo: 0.0001 segundos
Exposição mínima: 25 ms
Tamanho: 14 polegadas x 8,25 polegadas x 3,5 polegadas
Peso: 3,5 libras
Ambiente de trabalho: 15 ℃ - 40 ℃
Conformidade: em conformidade com ROHS2 e CE (compatibilidade eletromagnética e segurança)
Especificações da sonda
Detector de sonda: Fotodiodo de silício
可选波长: 220nm, 248nm, 254nm, 260nm, 310nm, 325nm, 365nm, 380nm, 400nm, 420nm, 436nm 和 540nm
Filtro: Filtro de absorção multicamada / eletrônico
Faixa de intensidade de luz: até 2000mW / cm²
Intercambiabilidade: qualquer sonda do tipo 656 pode ser usada com qualquer medidor do tipo 656
Conformidade: em conformidade com ROHS2 e CE (compatibilidade eletromagnética e segurança)