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Endereço
5º andar, Edifício Internacional Helen, 778 Baoshan Road, Hongkou, Xangai
Shanghai Juna Technology Co., Ltd
5º andar, Edifício Internacional Helen, 778 Baoshan Road, Hongkou, Xangai
NS3500G grande scanner laser 3D sem contato
NS-3500GÉ um scanner 3D sem contato confiável.Realize microimagens confocais em tempo real com módulos de varredura óptica rápida e algoritmos de processamento de sinal. Possui soluções * para medição e detecção de estruturas tridimensionais microscópicas, como chips semicondutores, produtos FPD, equipamentos MEMS, substratos de vidro, superfícies de materiais e muito mais.
Características e Benefícios(Benefícios e Benefícios):
Medição óptica 3D de alta resolução sem danos Compensação automática de inclinação
Imagem confocal em tempo realModo simples de análise de dados
Vários zooms ópticosScanner duplo Z
大范围拼接Detecção de características de substratos semitransparentes
em tempo realCCD campo claro e imagem confocalSem preparação de amostras
Foco automático
Campo de aplicação(Área de aplicação):
O NS-3500 é uma solução promissora para medir materiais de baixa dimensão.
A altura, largura, ângulo, área e volume de estruturas de mícrons e submicrônicos podem ser medidos, por exemplo
- Semicondutores: gráficos IC, altura de convexão, altura da bobina, detecção de defeitos, processo CMP
- Produtos FPD: detecção de tela táctil, padrão ITO, altura do espaço de coluna LCD
- Dispositivos MEMS: contorno tridimensional da estrutura, rugosidade da superfície, gráficos MEMS
- Superfície de vidro: células solares de película fina, textura de células solares, padrão a laser
- Pesquisa de materiais: detecção de superfície do molde, rugosidade, análise de rachaduras
Especificação (Specification):
Modelo |
Microscópio NS-3500 |
Observação |
|||||
Controlador NS-3500E |
|||||||
Magnificação da lente |
10x |
20 vezes |
50 vezes |
100x |
150x |
||
Alcance de observação/medição |
nível (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
||
Área de trabalho: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
||
Diâmetro numérico (N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
||
Zoom óptico |
x1 para x6 |
||||||
Ampliação Total |
178x to 26700x |
||||||
Sistema óptico de observação/medição |
Sistema óptico confocal com agulha |
||||||
Medição de altura |
Medição do alcance da varredura |
Comprimento da varredura: 10mm [NS-3500-T] |
|||||
Resolução de exibição |
0,001 μm |
||||||
Taxa de repetição σ |
0,010 μm |
Nota 1 |
|||||
Medição da largura |
Resolução de exibição |
0,001 μm |
|||||
Taxa de repetição 3σ |
0,02 μm |
Nota 2 |
|||||
Memória de quadro |
Pixel |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
|||||
Imagem monocromática |
12 bits |
||||||
Imagens coloridas |
8 bits para cada RGB |
||||||
Medição de altura |
16 bits |
||||||
Taxa de quadros |
Scan de superfície |
20 Hz a 160 Hz |
|||||
Varredura de linha |
~ 8 kHz |
||||||
Função automática |
Ganho automático |
||||||
Fonte de luz de medição confocal a laser |
comprimento de onda |
405 nm |
|||||
Saída |
~ 2mW |
||||||
Classe do laser |
Classe 3b |
||||||
Componentes de recepção a laser |
PMT (tubo fotoelétrico multiplicador) |
||||||
Fonte de luz de observação óptica |
luz |
LED de 10W |
|||||
Câmera de observação óptica |
Componente de imagem |
1/2" Sensor CCD de imagem colorida |
|||||
Resolução de registro |
640x480 |
||||||
Ajuste automático |
Ganho, Velocidade do obturador, Balanço de branco |
||||||
Unidade de processamento de dados |
PC |
||||||
fonte de alimentação |
Tensão de alimentação |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
|||||
Consumo de corrente |
500 VA máxima. |
||||||
peso |
Microscópio |
Aproximadamente ~200 kg (Unidade de cabeça de medição: ~12 kg) |
|||||
controlador |
~ 8 kg |
||||||
Nota 1: 100 medições em uma amostra padrão (passo de 1 μm) com uma lente de 100 x / 0,95
NOTA 2: Realize 100 medições em uma amostra padrão (com um intervalo de 5 μm) com uma lente de 100×/0,95.