Sistema de deposição de camada atômica de pó ALD

Modelo: AT-200MPlus（PlasmaMelhorar+ Deposição térmica）

Parâmetros técnicos:

·Tamanho (L * W * H): 35.5 * 38.1 * 56.8cm

·Revestimento em pó opcional (capacidade até 10cm^3)

·As amostras podem ser colocadas em 2 polegadas x 2 polegadas x 3 polegadas ou dois discos de 2 polegadas (cartuchos personalizados e nossa opção de revestimento em pó)

·3 portas de precursor (1 MFC, 2 tanques),6 portas opcionais(até 2 MFC, 4 tanques) com tubulação de aquecimento acompanhada até 150 °C (kit HT até 180 °C)

·Plasma com cátodo oco (13.56RF, 80W)

·Casco do precursor de ventilação

·Pulsos rápidos resistentes a altas temperaturas ALDVálvulas,Equipado com MFC ultra-rápido para limpeza integrada de gás inerte - padrão

·Câmara de aço inoxidável totalmente,Temperatura até 300°C

·Alta cobertura em modo de resposta estática

·Display de 5 polegadas com controle PLC integrado

·Inclui atualizações de software ao longo da vida

·1 年保reparação

Opções : bomba de vácuo, 4 portas, gerador de ozônio (AT-03), aquecedor de garrafas, QCM, Controle remoto PC, ALD precursor, caixa de luvas, kit HT (precursor até 180 ° C), espumador, pulverizador de pó, placa aquecida (até 450 ° C)

Características do equipamento:

1. Deposição de camada atómica de ALD de mesa, ocupando uma área pequena;

2. Capacidade de reforço de plasma quente e atualizável；

3. função de embalagem em pó opcional, especialmente adequado para os clientes no campo da pesquisa de bateria;

O volume pode ser colocado diretamente dentro da caixa de luvas para operação, especialmente adequado para clientes no campo da pesquisa de baterias;

A instalação operacional é extremamente simples, facilitando a operação de experimentos por diferentes pessoas do laboratório.

Áreas de aplicação:

Aplicações especialmente recomendadas no setor energético

1. Aplicações em baterias de íons de lítio

Deposição da camada atômica(ALD) tem grandes vantagens e perspectivas de aplicação no envolvimento de película fina de nanoescala de nanoestruturas devido às suas características de deposição coformal e controle simples e preciso da espessura da membrana. Numerosos estudos mostraram que o uso de ALD para enrolar o material do eletrodo em filme fina de nanoescala pode efetivamente modificar o material da bateria e melhorar o desempenho da bateria. Além disso, o ALD pode ser usado para sintetizar materiais eletrólitos positivos, negativos e de estado sólido para a preparação de baterias de íons de lítio.

2. Aplicações do ALD em células solares

As aplicações da tecnologia ALD no campo das células solares incluem principalmente: preparação de fotoeletrodos de nanoestrutura; ② passivação de modificação da superfície do eletrodo; sensibilizar a superfície do eletrodo através de pontos quânticos ou nanopartículas metálicas; ② regulação de banda de energia para as células solares sensíveis aos corantes e células solares de película fina.

3. Aplicações do ALD no campo dos supercapacitores

A tecnologia ALD não só pode ser usada para preparar materiais ativos de eletrodos de alta capacidade, mas também para preparar nanoestruturas, estabilizar e melhorar o desempenho dos materiais de eletrodos, desempenhando um papel importante no campo dos supercapacitores de alta capacidade e alta estabilidade.Função.

4. Aplicações do ALD em células de combustível

ALD tem amplas aplicações no campo das células de combustível: um catalisador altamente ativo para células de combustível pode ser obtido regulando a composição do catalisador metálico (como nanopartículas bimetálicas), o tamanho das nanopartículas metálicas; ② Depositar partículas metálicas em nanoestruturas para preparar ánodos de células de combustível; ② Preparar eletrólitos sólidos de alto desempenho para reduzir a temperatura de funcionamento da célula de combustível; A formação de uma camada protetora na superfície do eletrodo melhora a estabilidade e o desempenho da bateria.

5. Aplicações do ALD na decomposição fotoquímica da água

Devido às suas propriedades de crescimento, a tecnologia ALD não só pode preparar camadas fotoativas, mas também pode depositar camadas de melhoria de desempenho ou estabilização no fotoeletrodo, resolvendo alguns problemas que afetam o campo da decomposição da água das células fotoeletroquímicas.