Medidor de tensão

Medidor de tensãoÉ um dispositivo de detecção de precisão baseado na tecnologia de varredura a laser, usado principalmente para analisar parâmetros como distribuição de tensão, imagem de curvatura e tensão residual de materiais de película fina. Este equipamento tem um valor de aplicação fundamental em áreas como fabricação de semicondutores, pesquisa e desenvolvimento de materiais e controle de qualidade.

FLATSCANMedidor de tensãoUm perfilador de superfície óptico sem contato com ampla gama de medição para medições bidimensionais ou tridimensionais de alta precisão de tensão de wafer (tensão de película fina), curvatura de superfície (raio) e inclinação.

Princípios de medição óptica para medição de contorno de superfície

Os testes de tensão de película fina FLATSCAN são usados para medir sem contato a planeira, a curvatura da superfície, o raio médio e a tensão de película fina (tensão de wafer) de uma variedade de superfícies refletidas, como folhas de silício, espelhos, espelhos de raios X (Goebel-mirrors), superfícies metálicas ou polímeros polidos. O princípio de medição óptica garante alta precisão. Ele é baseado na medição do ângulo de reflexão do feixe laser de entrada vertical ao longo de linhas com passos constantes. A partir da variação do ângulo de reflexão entre os pontos de medição, o contorno da superfície pode ser calculado com precisão. Para algumas aplicações, o próprio ângulo de reflexão (inclinação da superfície) também é importante. Portanto, o software também oferece essa opção de medição.

Na aplicação de tecnologia de semicondutores, a tensão da película fina (tensão da wafer) do revestimento pode ser calculada medindo o raio de curvatura da wafer diante e atrás do revestimento.

Área de medição grande

Uma característica do princípio de medição utilizado é que ele não tem nada a ver com a área de medição. Assim, o diâmetro do campo de medição padrão de 200 mm pode ser aumentado quase arbitrariamente sem diminuir a precisão.

Alta precisão de medição

O teste de tensão de película fina FLATSCAN é caracterizado pela alta precisão de medição. A resolução do sistema de medição é de até 0,1 arcsec. A reprodutividade da forma da superfície é superior a 100 nm.

Amplo alcance de medição e distância de trabalho

A faixa de medição refere-se à altura máxima da seta (ou ao raio mínimo de curvatura mensurável) que pode ser medida em uma única varredura. Uma característica importante do FLATSCAN é o alcance de medição extremamente amplo, que não é possível com outros métodos de medição competitivos, como o interferômetro de faixa ou o interferômetro de deslocamento de fase.

Portanto, o teste de tensão de película fina FLATSCAN é adequado para medir superfícies com fortes curvaturas, como espelhos goebel, folhas de silício ou outras superfícies semelhantes. O princípio de medição óptica utilizado não é afetado pela distância de trabalho e garante uma distância de trabalho elevada, portanto, sem risco de danos à amostra.

Medição 2D/3D opcional

Dependendo do tipo de dispositivo, você pode escolher entre uma varredura de linha única ou uma varredura 3D completa. A varredura 3D é uma combinação automática de várias varreduras de linha única com localização automática de amostras. O software oferece todas as funcionalidades comuns para uma excelente representação gráfica e numérica dos resultados das medições, como representações 3D, perfiles e relatórios de medição.

Módulo de software para cálculo de tensões de película fina

O software é equipado com um módulo de cálculo de tensão de película baseado na teoria de Fowkes, adequado para a tecnologia de semicondutores e todas as aplicações que envolvem modificações de superfície, como revestimento ou remoção de revestimento, para medir de forma rápida e fácil a tensão de película. A tensão do filme é calculada com base no raio médio de curvatura antes e depois do processo de revestimento.

Parâmetros técnicos principais:

Medição sem contato do feixe laser

2, com a função de medir automaticamente o contorno do wafer, a curvatura e a tensão da película fina

Repetibilidade da curvatura da superfície (P-V) ≤100nm

Resolução do sistema de medição óptica: 0,1 arcsec

Precisão do sistema de medição óptica: 1 arcsec

Velocidade de digitalização: 10-30mm/s

7, alcance medido: padrão φ200mm, 300mm, maior pode ser personalizado