Válvula de proteção pneumática de alto vácuo série 54 VAT Suíça

Válvula de proteção pneumática de alto vácuo série 54 VAT Suíça

Posicionamento da Série 54

• Tipo de ProdutoVálvula de porta pneumática (Pneumatic Gate Valve)

• Funções principais：

• Isolamento rápido da câmara de vácuo (tempo de ligação/desligação < 1 segundo)

• Para semicondutores, fotovoltaicos e equipamentos de pesquisa científicaSistema de vácuo ultraalto (UHV)

• Vantagens principais：

• Taxa de vazamento baixa até<1×10 ⁻⁹ mbar·L/s(versão de vedação metálica até 10-1 mbar·L/s)

• Design de vazamento zero, compatívelGás corrosivo(por exemplo, Cl₂, SF6 no processo CVD)

Regras de Nome de Modelo (IVA 54152-AA, por exemplo)

Comparação dos submodelos mais utilizados no mercado chinês

Parâmetros técnicos principais

1. 真空性能：

• Taxa de vazamento: versão de borracha fluorada < 1 × 10-9 mbar · L / s, versão de vedação metálica < 1 × 10-1 mbar · L / s

• Diferença de pressão: versão padrão 10-9 mbar até a pressão atmosférica (pressão bidirecional opcional)

2. Características mecânicas：

• Modo de condução: pneumático de dupla ação (requer ar comprimido de 0,5 a 0,7 MPa)

• Tempo de abertura e fechamento: DN63 ≤ 0,5 segundos, DN200 ≤ 1,5 segundos

• Vida útil do ciclo: > 500.000 vezes (versão selada em metal)

3. Compatibilidade de materiais：

• Borracha fluorada (AA): baixo custo e resistente ao plasma

• vedação metálica (MM): resistência à corrosão, alta temperatura, preço alto 30% ~ 50%

• Material do corpo da válvula: aço inoxidável 316L (polimento eletrólico opcional grau EP)

• Opções de vedação:

5 – Passos-chave da seleção

1. Determinar a passagemEscolha DN40/DN63/DN160/DN200 de acordo com o fluxo do tubo

2. Escolha o selo：

• Processo convencional: Borracha fluorada (AA)

• Gravação / injeção de íons: vedação metálica (MM)

3. Correspondente com a franquia：

• ISO-K flange: grande fluxo (por exemplo, equipamentos de revestimento)

• CF flange: ultra-alto vácuo (por exemplo, câmara semicondutora)

4. Necessidades especiais：

• Gás corrosivo: opcionalCorpo de válvula de níquelouSelo de liga Hash

• Ambiente de alta temperatura: vedação metálica + válvula eletromagnética de alta temperatura (por exemplo, série Festo MS6)

Instalação e manutenção

• Especificações de instalação：

• O corpo da válvula deve ser instalado horizontalmente ou verticalmente (evite inclinação)

• Os parafusos da flanja devem ser apertados em ordem diagonal (referência ao manual do IVA sobre o torque)

• Recomendações de manutenção：

• Verifique o desgaste da superfície de vedação a cada 6 meses (a versão de vedação metálica pode ser moída regularmente)

• O anel de vedação de borracha fluorada deve permanecer em posição durante 12 horas após a exposição à atmosfera.

7 - Tratamento típico de falhas

Alternativas para o mercado chinês

1. Substituição nacional：

• ShenyangVálvula de proteção série GDC(DN40 ~ DN250, taxa de vazamento < 5 × 10-9 mbar · L / s)

2. Marca japonesa：

• SMCSérie VZH(médio-baixo vácuo, alta relação custo-benefício)

• Ciclo de entrega：

• Modelo padrão: 4-6 semanas

• Versão personalizada (por exemplo, corpo de válvula de níquel): 8-12 semanas

Válvula de proteção pneumática de alto vácuo série 54 VAT Suíça