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Edifício 6, Guoshun Road 93, Nanqiao, Distrito de Fengxian, Xangai
Xangai Maosuo Equipamento de Máquinas Co., Ltd.
Edifício 6, Guoshun Road 93, Nanqiao, Distrito de Fengxian, Xangai
Válvula de vácuo IVA Suíça Série 47
Aqui está sobreVálvula angular de alto vácuo da série 47 da empresa suíça VATAnálise técnica detalhada que abrange a classificação de modelos, características técnicas, guias de seleção e aplicações no mercado chinês:
Tipo de ProdutoVálvula angular de alto vácuo (Angle Valve)
Utilização principal:
Isolamento e controle de ventilação de câmaras a vácuo
Ideal para cenários de ultra-alto vácuo (UHV) como semicondutores, fotovoltaicos, revestimentos a vácuo e equipamentos de pesquisa científica
Certificação de núcleo:
Conforme ao padrão SEMI, vazamento < 1 × 10-9 mbar · L / s
Compatibilidade com materiais: aço inoxidável 316L, borracha fluorada (FKM) ou vedação totalmente metálica
| Segmento de código | Significado |
|---|---|
| 47 | Nome da série (válvula angular pneumática de alto vácuo) |
| 1 | Tamanho do corpo da válvula (1=DN16, 5=DN160) |
| 52 | Tipo de flange (52=CF flange) |
| AA | Material de vedação (AA = borracha fluorada, MM = metal) |
| modelo | Diâmetro | Tipo de flange | Material de vedação | Faixa de temperatura | Aplicações típicas |
|---|---|---|---|---|---|
| IVA 47112-AA | DN16 | CF-F | Borracha fluorada | -20~+150°C | Câmara de vácuo pequena |
| IVA 47152-AA | DN40 | CF-F | Borracha fluorada | -20~+150°C | Válvula de entrada de equipamento de revestimento |
| IVA 47552-MM | DN160 | ISO-K | vedação metálica | -200~+250°C | Máquina de gravura de semicondutores |
| IVA 47652-AA | DN63 | CF-F | Borracha fluorada | -20~+150°C | Sistema de vácuo de componentes fotovoltaicos |
真空性能:
Taxa de vazamento: versão de borracha fluorada < 1 × 10-9 mbar · L / s, versão de vedação metálica < 1 × 10-1 mbar · L / s
Diferença de pressão: versão padrão de 1×10−9 mbar até pressão atmosférica (versão de vedação metálica até 10−1⁄2 mbar)
Características mecânicas:
Modo de condução: pneumático de ação única / dupla (requer ar comprimido de 0,4 a 0,6 MPa)
Tempo de abertura e fechamento: < 1 segundo (especificações abaixo do DN40)
Vida útil do ciclo: > 1 milhão de vezes (versão selada metálica > 500.000 vezes)
Adaptabilidade ambiental:
Resistência aos solventes da borracha fluorada: compatível com acetona, álcool (incompatível com ácidos fortes)
Temperatura de cozimento da placa vedada metálica: até 250°C (válvula eletromagnética de alta temperatura opcional)
Determinar a passagemEscolha DN16/DN40/DN63/DN160 de acordo com o tamanho do tubo
Escolha o selo:
Borracha fluorada (AA): baixo custo, adequado para vácuo geral (≤10−9 mbar)
vedação metálica (MM): ultra-alto vácuo (≤10−¹¹ mbar), resistente a altas temperaturas
Correspondente com a franquia:
Franja CF: padrão de vácuo ultra-alto (indústria de semicondutores)
ISO-K flanges: aplicações de fluxo elevado (por exemplo, equipamentos de revestimento)
Configuração do driver:
Efeito único (reposição da mola): desligamento automático
Duplo efeito: requer controle de ar bidirecional para uma resposta mais rápida
Especificações de instalação:
A direção da seta do corpo da válvula deve ser compatível com a direção do fluxo de ar
O parafuso da flanja deve ser apertado gradualmente em diagonal (manual técnico de referência ao IVA)
Recomendações de manutenção:
Anéis de vedação de borracha fluorada substituídos a cada 2 anos (uso frequente)
Válvula de vedação metálica para espectroscopia de massa de hélio a cada cinco anos
| Fenômeno de falha | Possíveis razões | solução |
|---|---|---|
| A válvula não pode ser fechada. | Pressão insuficiente da fonte de ar / desgaste do anel de vedação | Verifique a via do gás (≥0.4MPa), substitua a vedação |
| Nível de vácuo inadequado | Poluição da vedação da flange | Limpe a vedação com um pano sem poeira |
| Abertura e fechamento mais lentos | Falha da válvula eletromagnética / vazamento do cilindro | Substituição da válvula eletromagnética de accionamento (recomendado Festo ou SMC) |
Substituição nacional:
Ciência de PequimVálvula angular série ZK(DN16 ~ DN200, taxa de vazamento < 5 × 10-9 mbar · L / s)
Marca japonesa:
SMCSérie VXH(para vácuo médio e baixo, alta relação custo-benefício)
Ciclo de entrega: 2-4 semanas de estoque de modelos regulares, corpo de válvula personalizado 8-12 semanas
Válvula de vácuo IVA Suíça Série 47