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Endereço
Edifício 6, Guoshun Road 93, Nanqiao, Distrito de Fengxian, Xangai
Categorias do produto
Xangai Maosuo Equipamento de Máquinas Co., Ltd.
Válvula de vácuo VAT Suíça 01034-KE01-0002
NegociávelAtualização em05/18
- Modelo
- Natureza do fabricante
- Produtores
- Categoria do produto
- Local de origem
Visão geral
Válvula de vácuo de IVA Suíça 01034-KE01-0002$r$n Resolução do modelo (regra de nomenclatura do IVA) $r$n Significado do segmento de código$r$n01034 Série: Válvula angular de vácuo de alto vácuo de pequeno calibre$r$nKE01 Tipo de flange: ISO-KF16 (DN16) $r$n0002 Código de configuração: com atuador pneumático + sensor de posição
Detalhes do produto
Válvula de vácuo VAT Suíça 01034-KE01-0002
1. Análise do modelo (regra de nomeação do IVA)
| Segmento de código | Significado |
|---|---|
| 01034 | Série: Válvula angular de alto vácuo de pequeno calibre |
| O KE01 | Tipo de flange: ISO-KF16 (DN16) |
| 0002 | Código de configuração: com atuador pneumático + sensor de posição |
2. Parâmetros principais
| Parâmetros | especificação |
|---|---|
| Gama de vácuo | 10⁻⁹ ~ 1000 mbar |
| Taxa de vazamento | ≤1×10-9 mbar·L/s (vedação metálica) |
| Material do corpo da válvula | Aço inoxidável 316L (polido EP) |
| Opções de selagem | Selo totalmente metálico / elastômero FFKM |
| Modo de condução | Duplo efeito pneumático (4 a 6 bar) |
| Tempo de resposta | ≤0,3 segundos (ligado/desligado) |
| Faixa de temperatura | -200 ℃ ~ 250 ℃ (tipo padrão) |
3. Características estruturais
Desenho de vazamento zero：
Transmissão de tubos ondulados metálicos (sem risco de vazamento de vedação dinâmica)
Selhamento do assento da válvula conica (10-9 mbar)
Feedback inteligente：
Sensor de posição de acoplamento magnético integrado (saída PNP)
Indicador de estado LED (vermelho/verde)
4. Aplicações típicas
Instrumentos de análise：
Isolamento do sistema de amostragem do espectrômetro de massa
Sala de amostras de microscópio eletrônico
semicondutor：
Módulo de Transferência de Wafer (EFEM)
Controle da via de gás do equipamento de gravura
5. Especificações de instalação
Conexão flange：
Limite de torque: 5 Nm (abrazadeira ISO-KF16)
Anel de vedação: junta de cobre sem oxigênio (P/N: VAT-CU16)
Requisitos de vias de ar：
Gás de condução: nitrogênio ou argônio (pureza ≥ 99,999%)
Filtro de tubulação: filtro de 0,1 μm
6. Interface elétrica
| Terminais | função |
|---|---|
| 1 (marrom) | 24V DC + |
| 2 (azul) | 0V |
| 3 (preto) | Sinal de abertura da válvula (PNP) |
| 4 (branco) | Sinal de fechamento da válvula (PNP) |
7. Ciclo de manutenção
| projeto | Operação | Ciclo |
|---|---|---|
| Inspeção da vedação | Detecção de interferômetro de luz branca | 1 ano / 105 ciclos |
| Vida do tubo ondulado | Teste de vazamento de hélio | 5 ou 106 ciclos |
| Calibração do sensor de posição | Ajuste de feedback do nível da válvula | Dois anos |
8. Diagnóstico de falhas
| código | Significado | Programa de processamento |
|---|---|---|
| E01 | Perda de sinal do sensor | Verifique o alinhamento do acoplamento magnético |
| E03 | Pressão insuficiente | Pressão de condução ≥4 bar |
| E05 | Alarme de sobretemperatura | Verifique se a temperatura ambiente é excedida |
9. Alternativas
| Marca / Modelo | Pontos de diferença |
|---|---|
| VAT 01034-KE01-0001 | Sem sensor de posição |
| Pfeiffer EVR 116 | Atuador elétrico, resposta mais lenta |
| NorCal UHV-16 | Preço 25% mais baixo, taxa de vazamento ligeiramente maior |
O prazo de entrega padrão do modelo é de 12 semanas. Se necessárioVersão ultra-alto vácuo (10−¹¹ mbar)ouVersão sem magnetismoÉ necessário um ciclo de personalização adicional de 6 semanas. Recomendado uso do IVASérie 52XO conjunto de válvulas eletromagnéticas permite o controle automático.
Válvula de vácuo VAT Suíça 01034-KE01-0002
