Válvula de regulação de alto vácuo elétrica série 590 VAT Suíça

Válvula de regulação de alto vácuo elétrica série 590 VAT Suíça

Posicionamento da Série 590

• Tipo de ProdutoVálvula de controle proporcional (Proportional Control Valve)

• Funções principais：

• Regulação de pressão de precisão(gama de 10-³ a 10-9 mbar)

• Controle de fluxo dinâmico (para CVD, PVD, gravura, etc.)

• Vantagens principais：

• Resolução até0,1% em escala completaTempo de resposta <50ms

• Vedação totalmente metálica (vazamento <1×10−1 mbar·L/s)

• apoioQuantidade analógica (0-10V/4-20mA)eComunicações digitais (RS485/Profibus)Controle

Regras de Nome de Modelo (por exemplo, IVA 590.12-AA)

Comparação dos submodelos mais utilizados no mercado chinês

Parâmetros técnicos principais

1. Ajustar o desempenho：

• Linearidade±0,5% alcance completo

• Precisão de repetição：±0.2%

• Coeficiente de fluxo (CV)：0.02（DN25）~0.15（DN63）

2. Características elétricas：

• Tensão de alimentação: 24V DC ± 10%

• Consumo de energia: <15W (standby <5W)

• Feedback de localização: codificador 0-10V ou SSI opcional

3. Adaptabilidade ambiental：

• vedação de borracha fluorada: -20 ° C ~ + 150 ° C

• vedação metálica: -200°C ~ +250°C (condição de assado)

• Faixa de temperatura:

• Resistência à corrosão: compatível com Cl₂, NF3 e outros gases de processo (é necessário um corpo de válvula de níquel opcional)

5 – Passos-chave da seleção

1. Determinar a passagem：

• Escolha DN25/DN40/DN63 de acordo com as necessidades de fluxo

• Fórmula de cálculo:$𝑄={𝐶}_{𝑣}\cdot \sqrt{\mathrm{\Delta }𝑃\cdot 𝜌}$
  (Q: fluxo, ΔP: diferença de pressão, ρ: densidade do gás)

2. Escolha o modo de controle：

• Controle de quantidade analógicaAplicável ao controle direto do PLC

• Comunicações DigitaisIntegração em sistemas inteligentes de gestão de vácuo

3. Material de vedação：

• Borracha fluorada (AA)Custo baixo, adequado para vácuo geral (≤10-9 mbar)

• vedação metálica (mm)Ultra-alto vácuo (≤10−1 mbar), resistente ao plasma

4. Opções especiais：

• Versão aquecidaImpedir a condensação de gás (por exemplo, processo SiH4)

• Certificação ATEXPara uso em ambientes perigosos

Pontos importantes de instalação e depuração

• Instalação mecânica：

• A direção do corpo da válvula deve ser consistente com o fluxo de ar (marcação de seta)

• Evite fontes de vibração (recomenda-se a instalação de suportes amortiguadores)

• Conexão elétrica：

• Cabo blindado (para evitar interferências eletromagnéticas)

• Resistência a terra <1Ω

• Calibração de parâmetros：

1. Definição de zero bits através da HMI ou do software (abertura de 0%)

2. Calibração de alcance completo (abertura 100% corresponde a 10V/20mA)

3. Teste de resposta em etapas (objetivo: Superregulação < 5%)

7 - Tratamento típico de falhas

Válvula de regulação de alto vácuo elétrica série 590 VAT Suíça