Válvula de alto vácuo com controle de IVA Suíça Série 65.3

NegociávelAtualização em05/13

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Válvulas de oscilação de alto vácuo com VAT Suíça Série 65.3 $r$n otimiza o controle e o isolamento da pressão a jusante em sistemas de semicondutores e monitores $r$n65.3 Válvulas de oscilação de controle estabelecem novos padrões para o controle e o isolamento da pressão a jusante. Esta série de válvulas de oscilação de controle foi projetada para sistemas de produção de semicondutores e monitores, oferecendo um alto nível de controlabilidade em uma gama mais ampla de condução. 65.3 A válvula de oscilação de controle é equipada com um motor com controle de posição integrado que oferece funcionalidades melhoradas.

Detalhes do produto

Válvula de alto vácuo com controle de IVA Suíça Série 65.3

65.3 A válvula de oscilação de controle estabelece um novo padrão para o controle e o isolamento da pressão a jusante. Esta série de válvulas de oscilação de controle foi projetada para sistemas de produção de semicondutores e monitores, oferecendo um alto nível de controlabilidade em uma gama mais ampla de condução. 65.3 A válvula de oscilação de controle é equipada com um motor com controle de posição integrado que oferece funcionalidades melhoradas.

O controlador de unidade oferece uma maior capacidade de processamento de dados de 32 bits, oferecendo um novo controle. Isso significa que todas as posições da placa de válvula de pendulum podem ser controladas com rapidez, precisão e precisão, permitindo um controle de pressão muito preciso a jusante em tempos de resposta extremamente curtos. A sequência de movimentos predefinida da válvula pode ser ajustada de acordo com uma variedade de parâmetros de processo em constante mudança. 65.3 A válvula de oscilação de controle também impede a liberação de partículas. O movimento de fechamento de amortiguação otimizado da placa de válvula evita os choques e vibrações comuns às válvulas tradicionais. 65.3 O fechamento suave da válvula de oscilação de controle é quase invisível para fechar e abrir. A placa de válvula fornece uma orientação mecânica extremamente precisa que garante o controle do fluxo de ar sem contato em movimentos reciprocos e uma vedação uniforme em todas as áreas do movimento de vedação.

A válvula 65.3 tem sido instalada em centenas de aplicações exigentes em diversas condições de processo, demonstrando sua confiabilidade e desempenho. A válvula 65.3 é ideal para a remodelação de sistemas existentes.

65.3 Válvulas de balanço de controle com tamanho DN 100-350 mm (4' - 14'), fabricadas em alumínio ou anóxido de alumínio duro, com conexões de flanja normais ISO-F e JIS. Flanças personalizadas podem ser integradas ou como opção de instalação direta. O material de vedação padrão é borracha fluorada e outros materiais podem ser usados conforme necessário.

O controlador pode usar algoritmos de controle especiais (adaptativo, PID fixo, upstream, bombagem suave). As várias portas padrão no controlador podem ser facilmente acessadas através de um computador pessoal ou conectadas à unidade de controle de processo (PCU). Software dedicado ao Analisador de Desempenho de Controle (CPA) para calibrar facilmente a válvula 65.3 e simplificar o planejamento de manutenção

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Características:

Controle rápido e preciso da pressão
Operação sem choque: sem geração de partículas
Aumento da estabilidade do processo: controle de todos os fluxos e pressões
Regulador de Pressão Integrado (IC2) de 32 bits com Analisador de Desempenho de Controle (CPA)
Transformação "plug-and-use": sem calibração ou correspondência

Vantagens:

Confiabilidade, precisão e velocidade
Extensão do ciclo de manutenção
Custos operacionais baixos

dimensão		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
unidade		Motor passo com controlador de pressão integrado
Material do corpo da válvula		Alumínio: alumínio ou anóxido de alumínio duro
Alimentação	unidade Anéis de vedação	Alimentação rotativa Conexões de alimentação
Franca padrão		ISO-F, JIS
Válvula de vazamento	alumínio Anóxido de alumínio duro	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-5mbar Ls-1
Assento da válvula de vazamento	alumínio Anóxido de alumínio duro	< 1 × 10-9mbar Ls-1 < 1 × 10-4mbar Ls-1
Faixa de pressão	alumínio Anóxido de alumínio duro	1 × 10-8mbar a 1,2 bar (pressão absoluta) 1 × 10-6mbar a 1,2 bar (pressão absoluta)
Número de interrupções antes da manutenção1)	Controle de pressão Fechar / Abrir	Um milhão de vezes. 200 mil vezes.
temperatura	Corpo da válvula Controlador	≤ 120 °C Máximo 50 ℃ (recomendado ≤35 ℃)
Materiais	Corpo da válvula, placa da válvula	EN AW-6061 (3.3211)
	Anéis de vedação	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Outras peças	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
selar	Tampa da válvula, placa da válvula, Alimentação do corpo da válvula	Borracha fluorada (com elásticos fluorados)
Localização da instalação		Qualquer Localização

Válvula de alto vácuo com controle de IVA Suíça Série 65.3

Número de artigo65350-JAUHNúmero de artigo65346-PHGKNúmero de artigo65350-JAUFNúmero de artigo65350-JAUENúmero de artigo65350-PACE

Número de artigo65346-PHGNNúmero de artigo65340-JAGQNúmero de artigo65340-JAGN

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