Válvula de controle de alto vácuo com IVA Suíça Série 65.5

A válvula 65.5 de alto vácuo fornece um espectro de fluxo altamente controlado. Devido ao seu movimento suave de abertura e fechamento, o número de partículas e os níveis de geração de partículas são extremamente baixos, que também são suas principais características.

A válvula foi projetada para processos exigentes, como aplicações de gravação corrosiva e limpeza durante a produção de semicondutores, onde um espectro de condução de fluxo altamente controlado é necessário quando a condução inicial de fluxo controlada é baixa.

65.5 A válvula de oscilação de controle de alto vácuo tem um DN de 250 mm (10'), permitindo que o fluxo mínimo seja controlado em apenas 2 ls-1. Devido à excelente capacidade de processamento de dados do controlador de unidade de 32 bits, a condução de fluxo pode ser aumentada até um nível muito fino. Além disso, os drivers são mais rápidos porque os sensores e comandos de controle são processados mais rapidamente do que os controladores equivalentes de 16 bits. Os vários conectores de porta padrão no controlador podem ser facilmente acessados através de um computador pessoal ou conectados a uma unidade de controle de processo.

O mecanismo de válvula de pendulum tem um design extremamente robusto para garantir que resista a quaisquer subprodutos do processo. Para reduzir o desgaste da vedação e evitar a geração e geração de partículas, os movimentos de abertura e fechamento são separados. Realize a primeira linha de fluxo movendo-se verticalmente longe do assento da válvula e, em seguida, aumente a linha de fluxo movendo a placa da válvula de pendulum em movimento horizontal. Devido à boa controlabilidade do movimento da placa de válvula, a ordem de movimento predefinida pode ser ajustada com precisão de acordo com os requisitos do processo. Para garantir o fechamento da vedação, a placa da válvula é pressionada sobre o assento da válvula através de uma barra de pressão especial. Isso garante uma distribuição uniforme da pressão de vedação em todas as áreas da placa de válvula.

Com um design compacto e opções de instalação direta, bem como uma variedade de outras opções de design, a série 65.5 é facilmente integrada em vários processos de vácuo.

65.5 Válvula de balanço de controle de alto vácuo em alumínio ou anodizado de alumínio duro com conectores de flanja normais ISO-F e JIS. Flanges especificadas pelo cliente podem ser integradas ou podem ser usadas como aquecedores para válvulas com temperaturas de funcionamento de até 120 °C.

1. Válvula
2. Eixo do motor
3. Motor de dois eixos
4. vedação de alimentação do motor
5. Fechamento