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Endereço
Edifício 6, Guoshun Road 93, Nanqiao, Distrito de Fengxian, Xangai
Categorias do produto
Xangai Maosuo Equipamento de Máquinas Co., Ltd.
Válvula de porta de vácuo IVA Suíça 96603-01
NegociávelAtualização em05/18
- Modelo
- Natureza do fabricante
- Produtores
- Categoria do produto
- Local de origem
Visão geral
Swiss VAT Vacuum Gate Valve Plate 96603-01$r$n Informações básicas $r$n Número de peça original: 96603-01$r$n$r$n Modelo de válvula aplicável: VAT 96600 Série de válvulas de porta de alto vácuo $r$n$r$n Material: aço inoxidável 316L (polimento eletrólito grau EP) $r$n$r$n Tratamento de superfície: Ra≤0.1μm (polimento espelho)
Detalhes do produto
Válvula de porta de vácuo IVA Suíça 96603-01
1. Informações básicas
Número de peça original：96603-01
Modelo de válvula aplicávelVAT 96600 Série de válvulas de gateway de alto vácuo
materialAço inoxidável 316L (classe EP de polimento eletrólico)
tratamento de superfícieRa≤0.1μm (polimento espelho)
2. Parâmetros principais
| Parâmetros | especificação |
|---|---|
| dimensão | Válvula DN160 (6,3') |
| tolerância de espessura | ±0.005mm |
| Planificação | ≤0.01mm/m |
| Classe de vedação a vácuo | ≤1×10-9 mbar·L/s (com anel de vedação metálica) |
| Faixa de temperatura | -270 ℃ ~ + 450 ℃ (configuração de vedação totalmente metálica) |
3. Características estruturais
Design de vedação dupla：
Capa de vedação principal: vedação metálica conica (cobre ou aço inoxidável)
vedação secundária: vedação elástica opcional (por exemplo, VITON) ®）
Sistema de orientação：
Guia linear de precisão (coeficiente de atrito < 0,001)
Interface de condução：
Atuadores pneumáticos padrão para VAT (por exemplo, série 96100)
4. Modelo de válvula compatível
| Série de válvulas VAT | Exemplos de modelos específicos |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803 (tamanho necessário) |
5. Instalação e manutenção
Passos de instalação：
Limpeza da válvula (uso de pano sem poeira + álcool de alta pureza)
Anéis de vedação pré-instalados (requer fixação especial)
Teste manual de resistência ao deslizamento após a inserção da placa da válvula (deve ser ≤5N)
Requisitos de torque：
Torque do parafuso da flanja: 20-25 Nm (ISO-KF160)
6. Indicadores de vida útil
| Condições de trabalho | Esperança de vida |
|---|---|
| Alta temperatura de vácuo (<10-7 mbar) | 107 ciclos |
| Alta temperatura (300°C) | Cerca de 5 x 106 ciclos |
| Ambiente Plasma | Verificar o desgaste a cada 5 x 105 vezes |
7. Métodos de detecção de desgaste
Inspeção óptica：
Medição de arranhos na superfície de vedação com interferômetro de luz branca (profundidade ≤ 0,5 μm para segurança)
Teste de desempenho：
Espectroscopia de massa de hélio vazamento (≤ 1 × 10-9 mbar · L / s no estado fechado da placa de válvula)
8. Comparação de alternativas
| Marca / Modelo | Pontos de diferença |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | Revestimento dourado (corrosão + condutividade) |
| Pfeiffer PGV 160 | Compatível, mas com interface de atuador modificada |
| Imitações domésticas | Custo 60% baixo, vida útil cerca de 40% da fábrica original |
A válvula deve ser combinadaVAT Série 229310 Anéis de vedaçãoUtilização. ParaEquipamento semicondutorRecomenda-se a substituição a cada dois ou 106 ciclos. As versões personalizadas, como revestimentos de nitreto de silício de alumínio, requerem um prazo de entrega adicional de 8 semanas.
Válvula de porta de vácuo IVA Suíça 96603-01
