Sistema de regulação de vibração de isolamento de ar ativo TMC

NegociávelAtualização em01/09

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O sistema de regulação de vibração de isolamento de ar ativo da TMC, o PEPS II, é baseado no PEPS (Precision Electronic Positioning System) da TMC e é melhorado. Ao adicionar novos controladores digitais, o PEPS II é mais fácil de usar, oferece mais funcionalidades e uma interface de usuário melhorada.

Detalhes do produto

Sistema de regulação de vibração de isolamento de ar ativo TMCPEPS II

O PEPS II baseia-se no PEPS (Precision Electronic Positioning System) da TMC e foi melhorado. Ao adicionar novos controladores digitais, o PEPS II é mais fácil de usar, oferece mais funcionalidades e uma interface de usuário melhorada. PEPS II é um sistema de controle de altura digital sem contato para sistemas de isolamento pneumático TMC. Esses sistemas geralmente incluem válvulas mecânicas de altura e ligações mecânicas de sensor de altura. Suas aplicações incluem equipamentos de fabricação de semicondutores que exigem melhores tempos de estabilidade e maior rendimento, bem como ambientes de laboratório de precisão que exigem o melhor desempenho de ruído e estabilidade da plataforma.

TMC主动空气隔振调平系统

Sistema de regulação de vibração de isolamento de ar ativo TMCPEPS IICaracterísticas

• Controle digital, fácil de usarInterface LCD

• Para usoControle de altura elétrico-pneumático sem contato para sistemas de isolamento Gimbal Piston, CSP e MaxDamp

●Repetibilidade da posição do eixo Z: 10 microns

● Melhor efeito de isolamento devido à eliminação do ponto de contato da alavanca do sistema de controle de altura mecânico tradicional

• Função de alimentação pneumática é minimizadaA reação do eixo Z ao movimento da plataforma X-Y

● Pode ser ajustado para estabilização rápidaMovimento causado pela plataforma X-Y

• Opcional »Funcionalidade VX" com sensor de inércia integrado para amortiguação ativa da ressonância do isolador vertical

Compatível com a estação "Softwood". Permitir o carregamento sem instalação de movimento/ Desinstalar o wafer

• Válvulas eletrônicas proporcionais. "Interruptores" ou válvulas eletrônicas tradicionais não produzem ruído de pulso

Tubos de escape para tratamento limpo de gases de escape

● Controle e estado de amarramento lógico

especificação

Dimensões Físicas	Controlador PEPS II 1,72 polegadas (43,7 mm) de altura x 8,0 polegadas (203 mm) de largura x 9,4 polegadas (240 mm) de profundidade
peso	Controlador PEPS II: cerca de 3,0 libras (1,2 kg)
Ambiente (Ver EN 61010-1:1993) EN 61010-1/A2: 1995)	Apenas para uso interior, até 2.000 metros de altitude (6.560 pés) Temperatura máxima permitida: 5°C a 35°C Umidade máxima permitida: 80% abaixo de 31°C e 50% de umidade relativa linear a 40°C Tolerância de tensão principal: 85 VAC - 240 VAC Categoria de sobretensão: 2 Classe de poluição (IEC 664): 2 Requisitos de ventilação: 25mm em ambos os lados, 0mm em cima e baixo
Requisitos de energia	Tensão de entrada: 90-230 VAC Frequência de entrada: 50-60 Hz
PEPSInterface do usuário II (painel dianteiro)	Interruptor de alimentação 4 botões de menu LCD 20 x 2 caracteres 2 tomadas de diagnóstico (tipo BNC) Indicador de estado tricolor Porta USB
PEPSII Interface (painel traseiro)	Entrada de corrente alterna com filtro EMI 1 porta de entrada de ar para tubos de diâmetro externo de 1/4 de polegada 1 porta de entrada de saída de ar (escape) para tubos de diâmetro externo de 1/4 de polegada 4 portas de entrada de ar para tubos de diâmetro externo de 1/4 de polegada (uma por isolador) DB-25 entrada-saída masculina e tomada de alimentação frontal 1 conector verde de 6 pinos com distância de 0,2 polegadas Phoenix (sensor de proximidade vertical) 1 conector preto de 6 pinos com distância de 3,5 mm Phoenix (sensor de proximidade horizontal) Espinho de rosca de terra (# 10-32 rosca) Socket DB-25 F: 1 entrada digital, 3 interfaces de sensor de detector sísmico (opção "-VX") Socket DB-25 F: 1 entrada digital, 3 sensores de proximidade de saída de corrente (opcional)
PEPS II Especificações de desempenho	Entrada analógica (unipolar): 8 x 12 bits (16 bits com amostragem), 0. 3.0 V em escala completa Entrada analógica (feedback): 5 x 12 bits (16 bits de amostragem usada), ±9 V em escala completa Proteção de entrada analógica (unipolar): +5 V, -0,5 V limite Proteção de entrada analógica: ±15 volts Saída analógica: 4 x 12 bits (16 bits usando amostragem), 0. 3.0 V em escala completa Saída analógica (opcional): 8 x 16 bits, 0. 3.0 V em escala completa Proteção de saída analógica: proteção de curto-circuito ilimitado, + limite de 5 volts Tensão de entrada digital: 0. .. +3,3 V, +5 V tolerância (+5 V limite) Valor de saída digital: 0. .. + 3.3 V， Máximo 20 mA Proteção de E/S digital: +5 V, -0,5 V limite Fonte de alimentação externa disponível: +5 VDC, máximo 2,0 A; +15 VDC, máximo 1,0 A (máximo 20 W) Porta de comunicação: USB, exibido como RS-232 no PC Processador: ARM7TDMI / 41,78 MHz Taxa de circuito de controle: 100 Hz - 2,0 KHz Sensor de proximidade: 3 verticais (3 horizontais opcionais), saída NAMUR 0-20 mA Sensor de velocidade - detector sísmico (opção "-VX"): 3 verticais, saídas de corrente
Especificações pneumáticas	Estabilidade de altura a longo prazo: ± 50 μm Estabilidade de inclinação a longo prazo: ± 50 microradians Servoválvulas: 4 x servoválvulas bidirecionais com proporção de orifício variável Tecnologia da válvula: Puro A Pressão máxima de entrada: 120 PSI ou 8,3 bar ou 830 KPa Consumo nominal de ar: 60 litros padrão por minuto (2 pés cúbicos padrão por minuto) Requisitos de ar: ar limpo e seco, filtrado até 20 microns ou mais Segurança contra falhas: o isolador é descarregado em caso de falha de energia ou corte de energia Conexão pneumática: Conexão rápida "One Touch" para mangueiras de diâmetro externo de 1/4 polegada

Desempenho

TMC主动空气隔振调平系统

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