TMC amortiguador de ar ativo

TMC amortiguador de ar ativo, Electro-Damp É o primeiro sistema de isolamento vibratório ativo comercial dedicado a aumentar o rendimento, a resolução e a produção em aplicações de fabricação de semicondutores. O Electro-Damp II é um redesenho completo do sistema original, com a adição de atuadores modulares, de controle digital, de alimentação, de alta força/alta distância e várias interfaces de usuário digitais projetadas especificamente para aplicações OEM, como micrografia, ferramentas de detecção e medição.

TMCDesvibração de ar ativaAparelhoEletro-Umpeza II

Electro-Damp ® É o primeiro sistema de isolamento vibratório ativo comercial dedicado a aumentar o rendimento, a resolução e a produção em aplicações de fabricação de semicondutores. O Electro-Damp II é um redesenho completo do sistema original, com a adição de atuadores modulares, de controle digital, de alimentação, de alta força/alta distância e várias interfaces de usuário digitais projetadas especificamente para aplicações OEM, como micrografia, ferramentas de detecção e medição.

As ferramentas de fabricação de semicondutores apresentam requisitos contraditórios para seus sistemas de isolamento vibratório. Para lidar com o ruído do solo, o sistema deve ser suave o suficiente para filtrar eficazmente as vibrações do solo e impedi-las de chegar à superfície isolante. Ao mesmo tempo, o sistema deve ser rígido o suficiente para lidar com a força da mesa de trabalho, de modo que o movimento da mesa de trabalho produza um deslocamento mínimo da superfície isolante e se estabilize rapidamente.

Além do uso de inercia e amortiguação de feedback ativa,O Electro-Damp II também usa o feedback de informações para melhorar ainda mais a resposta do sistema. O feedback obtém informações sobre a posição e a aceleração da mesa de trabalho do controlador da mesa de trabalho e, em seguida, processa esses dados para fornecer força à carga útil, reduzindo significativamente o movimento da carga útil causado pela mesa de trabalho. O sistema pode ler a informação de alimentação digital como um sinal analógico bipolar ou através da leitura da saída do codificador ortogonal. O controlador digital DC-2000 também pode ajustar automaticamente os parâmetros necessários para a alimentação avançada usando o modo de teste da mesa de trabalho. Isso permite uma configuração rápida e fácil durante a instalação inicial ou após a mudança de carga útil.

O design modular do Electro-Damp II permite que o sistema seja usado sozinho com servoválvulas eletrônicas (para aplicações pesadas e de baixa aceleração, como CMM), apenas com acionamentos eletromagnéticos (para mesas de trabalho mais leves com alta aceleração) ou em combinação com ambos (para aplicações exigentes).

TMCDesvibração de ar ativaAparelhoEletro-Umpeza IICaracterísticas

Sistema de atenuação ativa de seis graus de liberdade

• Controle eletrônico de altura sem contato

• Controladores digitais

● Correção de entrada de alimentação frontal do movimento de carga útil causado pela mesa de trabalho

Atuadores eletromagnéticos de alta potência podem ser fornecidos separadamente ou integrados no sistema

● Redução do tempo estável do movimento da carga útil e do movimento causado pela mesa de trabalho

• Melhore rendimento, resolução e rendimento

● O design modular permite ao usuário * definir uma unidade ou componente completo paraIntegração OEM

● Ajuste automático dos parâmetros de alimentação para reduzir as configurações

especificação

Descrição da aplicação

Electro-Damp®

Emda PrecitechMedição de 3 eixos (XYZ) com PEPS II-VX em máquinas-ferramentas de ultra-precisão Freeform L