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Shenyang Ke Crystal Equipamento de Automação Co., Ltd.
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VTC-110PAX sistema de revestimento rotativo automático de alto fluxo

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Visão geral

O sistema de revestimento rotativo automático de alto fluxo VTC-110PAX usa o método de injeção automática de absorção de líquido, após a injeção, uma camada de película é revestida automaticamente na superfície do substrato e, após o revestimento rotativo, o substrato é movido para a superfície da máquina de grelha para secagem do filme. O líquido pode ser agitado para evitar a precipitação e, se necessário, pode ser aquecido. Todo o processo de operação é configurado em uma tela táctil de 11 polegadas para uma operação intuitiva e conveniente. Este equipamento é adequado para a pesquisa de perovskite e outras películas líquidas realizadas em universidades e laboratórios de pesquisa científica, e o equipamento pode ser personalizado de acordo com as diversas exigências do cliente.

Detalhes do produto

Perfil do produtoVTC-110PAX高通量自动旋转涂膜系统

VTC-110PAX sistema de revestimento rotativo automático de alto fluxoUsando o método de injeção de absorção automática, a injeção gira automaticamente na superfície do substrato para revestir uma camada fina e depois de revestir, mover o substrato para a superfície da máquina de grelha para secar a película fina. O líquido pode ser agitado para evitar a precipitação e, se necessário, pode ser aquecido. Todo o processo de operação é configurado em uma tela táctil de 11 polegadas para uma operação intuitiva e conveniente. Este equipamento é adequado para a pesquisa de perovskite e outras películas líquidas realizadas em universidades e laboratórios de pesquisa científica, e o equipamento pode ser personalizado de acordo com as diversas exigências do cliente.

Parâmetros técnicosVTC-110PAX高通量自动旋转涂膜系统

nome do produto

VTC-110PAX sistema de revestimento rotativo automático de alto fluxo

Modelo do produto

VTC-110PAX

Parâmetros principais

Parâmetros da caixa de luvas VGB-6: caixa de luvas de dupla posição aberta

Cavidade da caixa de luvas

Material da caixa: aço inoxidável 304
Dimensões: 1200mm (L) x 780mm (L) x 900mm (H)
A janela frontal é projetada para ser aberta para colocar vários instrumentos

Ambiente da Câmara

Conteúdo de água: <1 ppm (20°C, 1 atm)
Conteúdo de oxigênio: <1 ppm (20°C, 1 atm)

Quarto frontal

Projetado com duas salas frontais
Tamanho da sala frontal: Φ360mm x 600mmL
Tamanho da sala frontal pequena: Φ150 mm x 300 mm (L)

Gás de trabalho

Gás de trabalho: N2, Ar, He e outros gases inertes
Controle de gás: ar comprimido ou gás inerte
Gás de redução: mistura de gás de trabalho e hidrogênio (H2).
Se o sistema de purificação tem apenas a função de remoção de água, o gás de redução é o mesmo que o gás de trabalho

Sistema de purificação de gás

Material de desoxigenação BASF da Alemanha, material de absorção de água UOP dos EUA, controle automático do processo de regeneração do sistema de purificação, função de desoxigenação automática de desoxigenação de água; É possível manter a pureza do gás a longo prazo e contínuo: água < 1ppm, oxigênio < 1ppm.

Sistema de controle de pressão

A pressão da câmara pode ser controlada automaticamente através de uma tela táctil PLC
Precisão de controle: ±1Pa
Também pode ser controlado manualmente através do interruptor de pedal

Sistema de filtragem

Filtros instalados tanto na entrada quanto na saída
Precisão de filtragem: 0,3 μm

sistema de controlo

Tela táctil colorida SIEMENS (6 polegadas), sistema de controle PLC, comutável bilingüe em chinês e inglês
Sonda de água: marca GE dos EUA, tela táctil de 0 a 1000 ppm, precisão de 0,1 ppm
Transmissor de oxigênio: marca AII dos EUA, tela táctil de 0 a 1000ppm, precisão de 0,1 ppm
Sensor de pressão: marca setra dos EUA, -2500 ~ 2500Pa tela táctil, precisão ± 1Pa

luvas

Borracha sintética butílica da marca NORTH

Sistema de iluminação

Configuração de lâmpadas fluorescentes da marca Philips

Tamanho do instrumento

2300mm (L) x 1500mm (L) x 1900mm (H)

Atenção

Quando o gás circula no interior da caixa de luvas, é necessário garantir que a tubulação do sistema de circulação seja suave e não possa ser bloqueada.
Não pode entrar gás corrosivo na caixa de luvas
Recuperar regularmente a caixa de luvas
A taxa de desoxigenação da caixa de luvas deve depender do gás de trabalho que entra, a desoxigenação com N2 é melhor do que a Ar que entra
Se houver gás corrosivo no interior da caixa de luvas (como o eletrólito LiPF6), a garrafa de líquido deve ser selada quando não for usada.

Parâmetros do sistema de membrana

Número de estações de revestimento

4 Estações

Parâmetros da máquina de revestimento

Cavidade (material): polipropileno

2, disco de amostra (aspirador): disco de aspiração de polipropileno Φ19mm, Φ60mm, φ100 φφφ mm cada um

Modo de execução: pode armazenar 12 grupos de programas; Cada conjunto de programas contém seis sessões de execução

Velocidade de rotação do revestimento: 20rpm-12500rpm eficaz, resolução de velocidade 1rpm / s

Taxa de aumento e redução: intervalo de configuração de taxa de aumento e redução por segmento: 20 rpm - 15.000 rpm / s

Tempo de revestimento: intervalo de tempo por período: 0-3000s

Estabilidade da velocidade: ±1%

Sistema de agitação de líquidos

Quatro bombas de agitação magnética aquecíveis

Temperatura de aquecimento RT-100 ℃

Velocidade de agitação magnética: 0-2000rpm

Sistema de injeção

Pistola de pipeta movendo-se automaticamente para cima e para baixo

Movimento horizontal curso eficaz: 500mm curso

Velocidade de movimento horizontal: 1 ~ 1800mm / min (inteiro).

Corrida efetiva de movimento vertical para cima e para baixo: 250mm;

Velocidade de movimento: 1 ~ 200mm / min (inteiro)

Equipado com quatro injectores automáticos de alta precisão

Precisão da injeção: ± 1 μl

Aumento: 1 μl

Sistema de secagem de película fina

Potência de aquecimento: 3500W

Temperatura de aquecimento: ≤500 ℃

Precisão de temperatura: ± 1 ℃

4, placa de aquecimento: 350mm x 240mm