VTC-1HD-ZF2 revestimento de evaporação de pulverização de magnetrônio de alto vácuo

Modelo do produto

VTC-1HD-ZF2

Parâmetros principais

Câmara de vácuo: φ324x330

Vácuo extremo 6.0X10-4Pa (com bomba turbomolecular doméstica FF-150 litros + bomba mecânica)

Taxa de vazamento: 2.0x10-10Pa.m3/s

O material é soldado em aço inoxidável 304, polimento de superfície eletroquímico.

O selo no local de atividade usa um anel de vedação de borracha, o selo no local de inatividade usa um anel de vedação de cobre.

A transmissão de força é feita por acoplamento magnético.

Câmara de vácuo com um alvo magnetrônico, um conjunto de eletrodos de evaporação (dois), 2 estações de forno de fonte de feixe (com 1 forno de fonte de feixe padrão).

1 conjunto de medidores de fluxo (um conjunto de argônio) com uma janela de observação de vidro φ150, com uma interface de flange C35 reservada.

2, alvo de pulverização: 2 polegadas (φ50.8mm)

Vácuo de trabalho: 10Pa ~ 0.2Pa

Utilização do alvo: > 35% (alvo de cobre padrão de 3 mm, vácuo da superfície do alvo de 0,5 Pa)

MAX功率： 240W (refrigeração total)

Tensão de isolamento: > 2000V (1 fonte de alimentação de corrente contínua de 500W)

3. evaporação de resistência:

Tensão de saída de evaporação: AC 0-8V ajustável continuamente

Corrente de evaporação limite 200A

Potência de evaporação limite <1.6KW

A temperatura não é controlada, não pode ser medida.

Forno de fonte de feixe: Capacidade do crucel: 3CC

Temperatura de aquecimento: temperatura ambiente -700 ° C

Temperatura de aquecimento mensurável, ajustável e controlável.

Precisão de temperatura: ± 0,5 ° C

Cribulho de quartzo padrão com barreira e termopar.

Potência: 500W, 36V

amostra: φ120

Temperatura ambiente -500°C

Rotação: 1-20rpm

A mesa de amostras pode ser levantada manualmente, limite máximo de percurso ajustável: 50mm

Medidor de espessura EQ-TM106-1

1) Fonte de alimentação: DC 5V (± 10%), corrente máxima 400mA

2) Resolução de frequência: ± 0.03Hz

3) Resolução de espessura da membrana: 0,0136Å (alumínio)

Precisão da espessura da membrana: ± 0,5%, dependendo das condições do processo, especialmente a localização do sensor, a tensão do material, a temperatura e a densidade.

5) Velocidade de medição: 100ms-1s / vez, ajustável

6) Alcance de medição: 500000Å (alumínio)

7) Cristal de sensor padrão: 6MHz

8) Interface do computador: interface serial RS-232/485 (taxa de transmissão 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 pode ser configurada, bits de dados: 8, bits de parada: 1, verificação: nenhum)

9) Saída analógica: resolução de 8 bits, saída modulada de pulso PWM (circuito aberto do eletrodo ou saída interna de 5V)

10) Ambiente de trabalho: temperatura 0-50 ℃, umidade 5% -85% RH, sem contas de água condensada

11) Dimensão: 90mm x 50mm x 18mm

O equipamento é equipado com 1 unidade de refrigerador de água padrão (tipo KJ5000), o cliente possui refrigerador de água e água deionizada ou água pura.

Entrada de energia: AC220V / 50Hz. Potência <3.5KW.

Especificações do produto:

Tamanho: cerca de 1300mm x 660mm x 1200mm; Peso: cerca de 160 kg