Microscópio óptico ZEISS Axio Imager Vario

Detecção de amostras grandes – com sistema de foco automático e cumprimento dos requisitos de classificação de sala ultra-limpa

A análise vai do menor sensor MEMS ao ultra-grande wafer XXL, ou até mesmo um microscópio de placa plana inteira, sem danificar a amostra. Com uma distância de movimento horizontal de até 300 mm e uma profundidade vertical de até 254 mm, você pode detectar grandes quantidades de amostras com o Axio Imager Vario. O design integrado da coluna garante estabilidade. Na aplicação de wafers de inspeção em ambientes ultralimpos – o Axio Imager Vario foi certificado pela norma DIN EN ISO 14644-1 e cumpre os requisitos do nível 5 de ambientes ultralimpos. O motor elétrico que impulsiona o eixo Z e o hardware de foco automático garantem o ajuste automático para uma melhor posição de foco.

Microscópio óptico ZEISS Axio Imager VarioCaracterísticas:

Duas colunas manuais e uma de motor elétrico (com três botões de controle de modo conforme padrões industriais) estão disponíveis para aproveitar ao máximo a distância de movimento horizontal e longitudinal do microscópio de até 300 mm e a profundidade vertical de até 254 mm.
O Axio Imager Vario focaliza a amostra movendo o disco de rotação da lente para cima e para baixo. Isso significa que, mesmo com amostras mais pesadas, é possível obter alta precisão de foco e repetibilidade.
Com o hardware de foco automático, você pode focar amostras reflexivas de baixo contraste com precisão e rapidez.
O Axio Imager Vario combina aplicações com o LSM 700 para analisar amostras sensíveis sem contato em alta resolução.
O Axio Imager Vario foi certificado pela norma DIN EN ISO 14644-1 e cumpre os requisitos do nível 5 de sala limpa.

Quarto super limpo:

A fabricação de semicondutores e a inspeção de wafers precisam ser feitas em salas ultra-limpas. De acordo com a norma DIN EN ISO 14644-1, as partículas são divididas em diferentes classes em número e tamanho por metro cúbico. Em aplicações de sala ultra-limpa, o Axio Imager Vario foi certificado para esta norma e cumpre os requisitos do nível 5 de sala ultra-limpa. A classificação ISO 5 da sala ultralimpa é equivalente à classificação 100 da norma original FED STD 209E (1992). O kit de sala ultra limpa inclui um disco rotativo de 7 buracos, uma proteção contra partículas e uma proteção contra espirros.

Microscópio óptico ZEISS Axio Imager VarioHardware de foco automático:

O Axio Imager Vario, integrado ao sistema de hardware de foco automático Auto Focus, permite foco rápido e preciso em uma faixa de captura de foco de até 12.000 µm. Em aplicações de inspeção para produção industrial e pesquisa, você precisa de um sistema de foco de alta precisão que alcance a profundidade de campo da lente 0,3 vezes. Este hardware de agregação automática é adequado para aplicações que utilizam métodos de observação de luz refletida, transmissível, campo claro, campo escuro, polarização, diferença de interferência diferencial e iluminação inclinada.