Microscópio de varredura co-focal a laser

NegociávelAtualização em05/06

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Visão geral

O microscópio de varredura confocal a laser permite imagens de microscópio confocal em tempo real através de módulos de varredura óptica rápidos e algoritmos de processamento de sinal. Possui soluções para medir e detectar estruturas tridimensionais microscópicas, como chips semicondutores, produtos FPD, equipamentos MEMS, substratos de vidro, superfícies de materiais e muito mais.

Detalhes do produto

Microscópio de varredura co-focal a laserÉ um sistema de varredura tridimensional (3D) preciso e confiável que permite microimagens confocais em tempo real através de módulos de varredura óptica rápidos e algoritmos de processamento de sinal. Possui soluções * para medição e detecção de estruturas tridimensionais microscópicas, como chips semicondutores, produtos FPD, equipamentos MEMS, substratos de vidro, superfícies de materiais e muito mais.

Benefícios (Performance & Benefits):

Medição óptica 3D de alta resolução sem danos Compensação automática de inclinação

Imagem confocal em tempo real Modo simples de análise de dados

Zoom óptico múltiplo Scan duplo Z

Detecção de características de substratos semitransparentes

CCD em tempo real e imagem confocal Sem preparação de amostra

Foco automático

Campo de Aplicação (Application Field):

O NS-3500 é uma solução promissora para medir materiais de baixa dimensão.

A altura, largura, ângulo, área e volume de estruturas de mícrons e submicrônicos podem ser medidos, por exemplo

- Semicondutores: gráficos IC, altura de convexão, altura da bobina, detecção de defeitos, processo CMP

- Produtos FPD: detecção de tela táctil, padrão ITO, altura do espaço de coluna LCD

- Dispositivos MEMS: contorno tridimensional da estrutura, rugosidade da superfície, gráficos MEMS

- Superfície de vidro: células solares de película fina, textura de células solares, padrão a laser

- Pesquisa de materiais: detecção de superfície do molde, rugosidade, análise de rachaduras

Especificação(Microscópio de varredura co-focal a laserEspecificações):

Modelo	Microscópio NS-3500						Observação
	Controlador NS-3500E
Magnificação da lente		10x	20 vezes	50 vezes	100x	150x
Alcance de observação/medição	nível (H): μm	1400	700	280	140	93
	垂直 (V): μm	1050	525	210	105	70
Área de trabalho: mm		16.5	3.1	0.54	0.3	0.2
Diâmetro numérico (N.A.)		0.30	0.46	0.80	0.95	0.95
Zoom óptico		x1 para x6
Ampliação Total		178x to 26700x
Sistema óptico de observação/medição		Sistema óptico confocal com agulha
Medição de altura	Scan de medição	Comprimento da varredura: 10 mm
	Resolução de exibição	0,001 μm
	Taxa de repetição σ	0,010 μm					Nota 1Realize 100 medições em uma amostra padrão (passo de 1 μm) com uma lente de 100 x / 0,95.
Medição da largura	Resolução de exibição	0,001 μm
	Taxa de repetição 3σ	0,02 μm					Nota 2100 medições em amostras padrão (distância de 5 μm) com uma lente de 100 x / 0,95
Memória de quadro	Pixel	1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
	Imagem monocromática	12 bits
	Imagens coloridas	8 bits para cada RGB
	Medição de altura	16 bits
Taxa de quadros	Scan de superfície	20 Hz a 160 Hz
	Varredura de linha	~ 8 kHz
Função automática		Ganho automático
Fonte de luz de medição confocal a laser	comprimento de onda	405 nm
	Saída	~ 2mW
	Classe do laser	Classe 3b
Componentes de recepção a laser		PMT (tubo fotoelétrico multiplicador)
Fonte de luz de observação óptica	luz	LED de 10W
Câmera de observação óptica	Componente de imagem	1/2" Sensor CCD de imagem colorida
	Resolução de registro	640x480
	Ajuste automático	Ganho, Velocidade do obturador, Balanço de branco
Unidade de processamento de dados		PC
fonte de alimentação	Tensão de alimentação	100 to 240 VAC, 50/60 Hz
	Consumo de corrente	500 VA máxima.
peso	Microscópio	Aproximadamente ~200 kg (Unidade de cabeça de medição: ~12 kg)
	controlador	~ 8 kg

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