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Shanghai Peiyuan Equipamento Co., Ltd.
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Máquina de gravura de plasma doméstica

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A gravadora de plasma doméstica PLUTO-MH é uma plataforma experimental inovadora desenvolvida para universidades, institutos científicos e laboratórios empresariais ou empresas inovadoras que produzem em pequenas séries. Para as diferentes necessidades dos usuários, oferecemos acessórios funcionais diferentes, que, ao mesmo tempo em que obtêm desempenho convencional, possuem uma variedade de capacidades como revestimento de superfície (revestimento), gravação, reação química de plasma, tratamento de plasma em pó e muito mais.
Detalhes do produto

国产等离子刻蚀机

  Máquina de gravação de plasma doméstica PLUTO-MHCaracterísticas:
1. Para uso em ocasiões com requisitos rigorosos para o tratamento de plasma
A fonte de plasma é gerador de radiofrequência com frequência de 13,56 MHz, levando em consideração reações físicas e químicas
Adotando uma fonte de alimentação de 500W, combinação automática de impedância, o gerador de RF de alta potência pode responder a vários requisitos experimentais para garantir alta densidade de energia e alta eficiência de processamento
4. controle de vácuo de alta precisão, adaptando-se a várias necessidades de processamento
Câmara de aço inoxidável 5.316 (ou liga de alumínio 6061), tubulação e conexões de aço inoxidável totalmente, para vários gases (incluindo gases corrosivos)
Tela táctil de classe industrial de 6.4.3 polegadas, fácil operação do software, várias configurações de parâmetros e modo de processamento combinado do processo
7. pode adicionar vários acessórios, revestimento revestido, controle de temperatura do eletrodo, controle de intensidade do plasma, reações químicas do plasma e outras funções (se houver aplicações especiais, consulte o vendedor)
8. de acordo com as necessidades do usuário, fornecer o programa de tratamento de plasma correspondente e equipamento de uso especial personalizado
  Máquina de gravação de plasma doméstica PLUTO-MHParâmetros:
Especificações da cavidade de vácuo: 316 cavidade de aço inoxidável, diâmetro 210mm* (profundidade) 230mm aproximadamente 4L
Elétrodo: dois elétrodos de placa plana adaptativa, liga de alumínio T6061 (elétrodos de placa plana sem furos revestidos de teflón disponíveis para amostras que requerem tratamento duplo)
Tamanho do eletrodo: 120 * 135 mm de distância 20 ~ 75 mm ajustável (reversível)
Gerador de Plasma: Gerador de RF, Frequência: 13,56 MHz
Potência: 0-500W ajustável contínuamente, correspondência automática de impedância, precisão 1W
Controle de gás: válvula de fluxo de gás de agulha, com gás 1 via padrão, tubos e conexões de aço inoxidável
Modo de controle: tela táctil de controle industrial de 4,3 polegadas
Função do software de controle: a interface mostra o estado de trabalho em tempo real,
Os valores definidos e reais podem ser exibidos para fácil controle em tempo real.
Poder ajustar livremente a potência do plasma e o tempo de entrada do gás
Permissões operacionais em vários níveis, controle combinado de vários parâmetros de processo,
Controle totalmente manual e totalmente automático opcional
Dispositivo de proteção: botão de proteção de parada de emergência com um clique
  (Consulte o vendedor para obter mais informações)
国产等离子刻蚀机

Máquina de gravação de plasma doméstica PLUTO-MHÁrea de aplicação:
Configurar diferentes módulos para expandir diferentes aplicações
Módulo de eletrodo de aquecimento - Temperatura controlada para acelerar a velocidade de processamento de plasma e melhorar significativamente a uniformidade do processamento de amostras
Módulo de revestimento de sedimento para alterar as características da superfície:
Deposito de materiais CF, a superfície da amostra pode ter propriedades de detecção à água
Deposito de materiais contendo benzeno, a superfície da amostra desempenha a propriedade de isolamento impermeável
Deposito de materiais contendo hidroxi para melhorar a combinação da superfície da amostra e outros materiais
Módulo de acoplamento por indução - dispositivo de plasma de acoplamento por indução
Dispositivo de mistura de gás
Pode ser projetado de acordo com o pedido
Purificação e reação de gás
Purificação de gases e reações químicas com plasma e materiais relacionados