Introdução do produto:

O KLA Profilm3D é umContrômetro de interferência de luz branca 3DO perfilador óptico KLA Profilm3D utiliza a tecnologia de varredura de interferência vertical (WLI) e interferência de fase (PSI). Realize estudos de morfologia superficial em sub-nanoescala a um preço mais baixo. Adote o princípio de interferência de luz branca, sem danificar a amostra.

Características do produto:

• Alcance de campo de visão: o Profilm3D oferece um alcance de campo de visão de até 2 mm com apenas 10 objetivos, enquanto seu zoom óptico máximo de 4 vezes satisfaz a necessidade de alternar vários objetos em diferentes aplicações. Isso reduz ainda mais os custos das necessidades de aquisição.

• Mesa de amostragem XY automática de 100 mm: Cada perfilador óptico Profilm3D é equipado com mesa de amostragem XY automática de 100 mm, mesa de rotação de objetos de 4 buracos e dispositivo de alinhamento manual como configuração padrão.

• Custo-benefício: Estudo de morfologia de superfície em sub-nanoescala a um preço mais baixo.

• Medição de alta precisão sem contato: resolução vertical até a escala sub-nanométrica (<1 nm), ideal para a detecção sem danos de materiais sensíveis, como polímeros macios, amostras biológicas.

• Medição simples: o software Profilm3D oferece respostas intuitivas que incluem medições de rugosidade de superfície, forma e altura de degraus. Em poucos segundos, você pode medir todos os parâmetros comuns de rugosidade em superfícies planas e curvas. Também é possível escolher a atualização do software de função de juntagem para combinar várias imagens para fornecer medições de grande área.

Princípio de medição do produto:

O perfilador óptico KLA Profilm3D usa a luz branca como fonte de luz e divide o feixe em dois caminhos através do espelho espectral: um caminho irradia a superfície da amostra medida e o outro é projetado para a superfície do espelho de referência, e dois feixes de luz refletidos formam uma faixa de interferência na câmera CCD. A pequena diferença de altura na superfície da amostra leva a mudanças na distância de luz, analisando a distribuição clara e escura das faixas de interferência e o desvio de posição, calculando a altura relativa de cada ponto da superfície e gerando dados de morfologia tridimensional.

Aplicações principais:

Contrômetro de interferência de luz branca 3DParâmetros:

Diagrama de perfil óptico KLA Profilm3D: