Medidor de resistência de quatro sondas KLA R50

O medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

Sistema de mapeamento de resistência com quatro sondas KLA R50É um produto da série de testes de resistência KLA. A medição e o monitoramento de resistência são importantes para qualquer indústria que utilize filmes condutores, desde a fabricação de semicondutores até eletrônica flexível necessária para tecnologias vestíveis.Medidor de resistência de quatro sondas KLA R50Pode ser envolvido em áreas de medição como distribuição uniforme de membranas metálicas, dopagem iónica e caracterização por injeção, distribuição de espessura e resistência de membranas finas e espessura de membranas sem contato.

Vantagens do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

• Configuração de sonda de quatro pontos de contato (4PP) e corrente eléctrica turbulenta (EC) sem contato;

• 100mmZ curso, controle de alta precisão;

• Condutor e resistência de filme semicondutor, 10 faixas de graus de quantidade aplicáveis;

• Edição personalizada de pontos de teste, incluindo coordenadas retangulares, lineares, polares e configurações personalizadas;

• Plataforma elétrica 200mmXY;

• O software RSMapper é flexível e fácil de usar;

• Compatível com todas as sondas de medição de resistência de película fina KLA;

Princípio de medição do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

Sonda de quatro pontos (4PP)Uma sonda composta por quatro sondas condutoras toca com força controlada a superfície da camada condutora, com uma barreira não condutora entre a camada condutora medida e o substrato. A configuração de sonda de medição padrão consiste em aplicar corrente entre as duas sondas externas e medir a tensão entre as duas sondas internas. Ao medir a resistência da película fina, a espessura da camada condutora deve ser inferior a 1/2 da distância entre as duas sondas. A KLA estáR50 Medidor de resistência de quatro sondasA tecnologia de dois modos foi desenvolvida, que permite medir a tensão na sonda de intervalo e configura a correção dinâmica do efeito de limite e a compensação de erros de intervalo da sonda. A KLA oferece uma ampla gama de tipos de sondas para aplicar e otimizar medições de caracterização das propriedades de diferentes materiais de superfície e pode ser usada em quase qualquer película condutora ou camada de injeção de íons.

Corrente turbulenta elétrica (EC)É a tecnologia de medição de película condutora sem contato. A corrente temporária é aplicada através da bobina para gerar um campo magnético temporário que, quando se aproxima da superfície condutora, gera uma corrente temporária de indução (vortex) nessa superfície. Essas correntes turbulentas, por sua vez, geram seu próprio campo magnético de variação temporal, que se acopla à bobina da sonda e produz mudanças de sinal proporcionais à resistência da amostra. A tecnologia EC especial da KLA, com uma única sonda localizada no topo da amostra, permite ajustar dinamicamente a altura da sonda em cada ponto de medição, o que é importante para a precisão e repetibilidade da medição. O método EC não é afetado pelo tamanho da sonda ou pela oxidação da superfície e é ideal para amostras mais suaves ou outras que não são adequadas para medições com o método de contato 4PP.

Aplicações industriais do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

Aplicações do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

A homogeneidade da película metálica

A uniformidade da resistência da película é importante para garantir o desempenho do componente e a maioria das películas metálicas pode ser medida por 4PP e EC. EC é recomendado para filmes metálicos mais grossos e altamente condutores, e 4PP é adequado para filmes metálicos mais finos (> 10Ω / sq), mas, de qualquer forma, 4PP / EC mostra uma alta correlação, garantindo que resultados precisos podem ser obtidos usando qualquer método. Os mapas de resistência do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50 podem caracterizar a uniformidade da película fina, a massa do sedimento e outras flutuações do processo.

Caracterização da injeção de íons

O método 4PP é a técnica de medição padrão para medir o processo de injeção de íons. Os pontos quentes e frios podem ser identificados através de testes de distribuição de injeção de íons após a fusão térmica devido a falhas de lâmpada, mau contato de wafer/plataforma ou mudanças na dose de injeção. Para a camada de injeção de íons de silício, o processo de cozimento térmico é necessário para ativar íons dopados.

Espessura da película / resistência / resistência da película

Através dos dados do wafer coletados,Medidor de resistência de quatro sondas KLA R50Pode-se desenhar a distribuição da resistência, espessura ou resistência da película. A distribuição da espessura da membrana pode ser calculada e exibida ao inserir a resistência do material; Ou, inserindo dados de espessura da membrana, a distribuição da resistência pode ser calculada.

Coleta de dados e visualização

Medidor de resistência de quatro sondas KLA R50O software RSMapper combina a coleta de dados com recursos analíticos poderosos com uma interface visual intuitiva que pode ser usada no próprio dispositivo ou para uso offline. O software vem com várias ferramentas de layout de coordenadas para ajudar os usuários a configurar facilmente os pontos de medição dos dados.

Parâmetros do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50:

Diagrama do medidor de resistência de quatro sondas KLA R50: