Nano-prensador KLA iMicro

Nanopressor KLAApresentação:

O nanoprensador KLA iMicro mede facilmente revestimentos rígidos, filmes finos e pequenas quantidades de materiais. Preciso, flexível e fácil de usar, o instrumento oferece uma ampla variedade de testes mecânicos em nanoescala, como encolhimento, dureza, arranhões e testes em nanoescala gerais. Os motores intercambiáveis ​​oferecem uma ampla gama dinâmica de cargas e deslocamentos de força, permitindo que os pesquisadores façam testes detalhados e repetidos de materiais como polímeros macios a metais duros e cerâmicas. As opções modulares são adequadas para uma variedade de aplicações: distribuição de propriedades de materiais, testes de frequência específica, testes de arranhões e desgaste e testes de alta temperatura. O nanoprensador KLA iMicro oferece um conjunto completo de opções de extensão de teste, incluindo aquecimento de amostras, medição de rigidez contínua, distribuição de propriedades NanoBlitz3D/4D e sensores de carga de força Gemini2D, que oferecem medições de atrito e outras de dois eixos.

Nanopressor KLAVantagens:

• O design modular oferece uma ampla gama de funções de teste e capacidade de teste automatizado de alto fluxo, com pacotes de análise de dados estatísticos para medição de desempenho nanomecânico, microimagem de sonda de varredura, medição de alta temperatura e teste de propriedades de corrente de tensão IV em tempo real e controle experimental, desenvolvimento de processo de teste fácil de usar e configuração de parâmetros de teste.

• O motor eletromagnético InForce1000 padrão oferece força de propulsão de até 1N.

• Os dispositivos eletrônicos integrados do controlador de alta velocidade completam a captura de dados de alta velocidade de até 100 kHz, capturando respostas instantâneas do material, como fluxos serrados e fenômenos de ruptura. O instrumento usa uma constante de tempo curta de 20μs para capturar a resposta real instantânea do material.

• Quadro de alta rigidez com isolamento de ruído integrado para garantir medições precisas de vários materiais.

• Microscópio óptico de alta resolução com zoom digital para localização precisa de amostras.

• Os especialistas em nano-moldagem oferecem cursos profissionais de nano-moldagem on-line, bem como aplicativos móveis que oferecem atualizações em tempo real dos métodos de teste.

Princípio de medição:

O nanoprensador KLA iMicro usa uma cabeça de diamante de forma geométrica específica para pressionar a superfície do material de forma quasi estática, registrando em tempo real a carga e as mudanças na profundidade de pressionamento durante o processo de carga-descarga, gerando curvas de carga-deslocamento, combinando modelos mecânicos com análises de curvas para calcular parâmetros como a nanodureza e o módulo de elasticidade do material.

Aplicações principais:

Dureza e medição modular (OliverPharr)

A caracterização mecânica é fundamental no processamento e fabricação de filmes finas, incluindo a qualidade dos revestimentos na indústria automotiva, bem como o controle de processos nas fases anterior e posterior da fabricação de semicondutores. O nanoprensador KLA iMicro mede a dureza e o módulo de uma variedade de materiais, desde géis ultramacios até revestimentos rígidos. A avaliação de alta velocidade dessas características garante o controle de qualidade na linha de produção.

Distribuição de propriedades de materiais de alta velocidade

Para muitos materiais, incluindo compostos, suas propriedades mecânicas podem variar dependendo da parte. A plataforma de amostra do nanoprensador KLA iMicro pode mover-se de 100 mm nos eixos X e Y e de 25 mm na direção do eixo Z, o que torna o sistema adequado para diferentes alturas de amostra e para medições em grandes áreas de amostra. O software opcional de formação e imagem analítica NanoBlitz permite mapear rapidamente a distribuição colorida de qualquer propriedade mecânica medida.

Teste de dureza ISO 14577

O nanoprensador KLA iMicro inclui um método de teste ISO14577 pré-preparado para medir a dureza do material em conformidade com a norma ISO14577. Este método de teste mede e relata automaticamente o módulo de Yang, a dureza do instrumento, a dureza de Vickers e a formação padronizada.

Polímero TanDelta, módulo de armazenamento e perda

O nanoprensador KLA iMicro mede tandelta e módulos de armazenamento e perda para materiais ultramacios, incluindo polímeros viscoelásticos. O módulo de armazenamento e perda, bem como a tandelta, são características importantes dos polímeros elásticos viscosos, cuja energia é armazenada como energia elástica e consumida como calor. Ambas as métricas são usadas para medir o consumo de energia de um determinado material.

Teste quantitativo de arranhões e desgaste

O nanoprensador KLA iMicro é capaz de fazer testes de arranhões e desgaste em uma variedade de materiais. O revestimento e a película são submetidos a vários processos, como polimento químico mecânico (CMP) e ligação de fios, para testar a resistência da película e sua adesividade ao substrato. É importante que esses materiais resistam à deformação plástica nesses processos e permaneçam intactos sem espuma do substrato. Idealmente, os materiais dielétricos devem ter alta dureza e módulo de elasticidade, pois esses parâmetros ajudam a determinar como o material reagirá durante o processo de fabricação.

Teste de nano-encolhimento de alta temperatura

A nanoformação a altas temperaturas é importante para caracterizar as propriedades dos materiais sob tensão térmica, especialmente para quantificar os mecanismos de falha em processos termomecânicos. Alterar a temperatura da amostra durante os testes mecânicos pode medir não apenas as mudanças de comportamento causadas pelo calor, mas também quantificar a plasticidade de transição do material, que é difícil de testar a nível nanométrico.

Aplicações da indústria:

Vantagens técnicas:

• Medição de rigidez contínua (CSM)

• Distribuição rápida do desempenho mecânico do NanoBlitz3D

• Tomografia de desempenho mecânico NanoBlitz4D

• Teste de polimero ProbeDM

• Método de película AccuFil

• Aquecimento da amostra a 300°C

• Teste de nano-encolhimento padronizado internacionalmente

Opções de atualização:

Opções de teste de arranhões e desgaste

Os ensaios de arranhões e desgaste aplicam cargas longitudinais constantes ou incrementais à sonda ao atravessar a superfície da amostra e podem ser usados para caracterizar vários materiais, como filmes finos, cerâmicas frágeis e polimeros.

Opções de teste de materiais biomacios

Método de teste de biomateriais usando o teste de rigidez contínua CSM módulo de caracterização em torno de 1kPa Método de teste de materiais biomacios que contêm uma cabeça de pressão de fundo plano e medir o módulo de perda de armazenamento de materiais macios,

Opções de teste do DataBurst

O modo DataBurst desencadeia a coleta de dados a velocidades de até 100 kHz, capturando respostas instantâneas do material, como fluxos serrados e fenômenos de ruptura; Permite medir as propriedades mecânicas de materiais de alta deformação sob cargas escalonadas; O instrumento usa uma constante de tempo mais curta para ajudar o cliente a capturar a resposta real instantânea do material.

Plataforma de escrita de software aberta InView

A InView usa uma plataforma aberta de escrita de software para ajudar os clientes a obter controle sobre carregamento, medição e cálculo durante os testes. Para projetar experimentos novos ou complexos. Uma plataforma aberta de escrita de software oferece aos clientes maior flexibilidade para facilitar a coleta de dados de teste brutos e o uso dos resultados da análise final; Os clientes podem navegar, editar fórmulas de cálculo, personalizar parâmetros e realizar projetos experimentais personalizados; Os usuários são livres para projetar e alterar parâmetros e processos de teste, possibilitando a exploração de novos testes experimentais.

Teste elétrico TrueTestI-V

A opção TrueTestI-V permite ao usuário aplicar uma tensão específica à amostra e medir a corrente da cabeça de pressão para caracterizar mudanças locais nas propriedades elétricas durante a medição nanomecânica.

Isolamento vibracional ativo com rack modular

O aumento do isolamento ativo com base no isolamento passivo incorporado do nanopressor KLA iMicro oferece uma boa estabilidade e precisão para medições nanomecânicas de alta dificuldade, como filmes ultrafinos. O sistema de isolamento ativo reduz a vibração em todos os seis graus de liberdade sem necessidade de ajustes.

Plataforma de codificador óptico linear de alta precisão

A opção de codificador óptico linear (LOE) melhora a precisão de posicionamento do processo de teste para o posicionamento de estruturas pequenas.

Sondas e amostras de calibração

Os cabeçalhos de pressão intercambiáveis para os drives InForce50, InForce1000 e Gemini incluem cabeçalhos Berkovich, Stereo, Vickers, bem como cabeçalhos de fundo plano e esféricos.

Diagrama de medição do nanoprensador KLA iMicro: