Medição automática da espessura da película óptica Filmetrics

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O Filmetrics mede automaticamente a espessura da película óptica com o sistema de reflexão espectral do F54-XYT-300 para medir de forma rápida e fácil a espessura da película em amostras de 200 x 200 mm. A mesa elétrica XY move-se automaticamente para o ponto de medição selecionado e oferece medições rápidas de espessura a velocidades de até dois pontos por segundo.

Detalhes do produto

Medição automática da espessura da película óptica FilmetricsApresentação:

O Filmetrics F54-XYT-300 mede automaticamente a espessura da película óptica com o sistema de reflexão espectral do F54-XYT-300 para medir de forma rápida e fácil a espessura da película em amostras de 200 x 200 mm. A mesa elétrica XY move-se automaticamente para o ponto de medição selecionado e oferece medições rápidas de espessura a velocidades de até dois pontos por segundo.

Características Vantagens:

Sistema de desenho de espessura de película automática, localização rápida e obtenção de resultados em tempo real;
Camada de membrana da amostra mensurável: basicamente lisa. Películas não metálicas podem ser medidas;
Os resultados do mapeamento podem ser apresentados em 2D ou 3D para facilitar a visualização do usuário de diferentes ângulos;

Princípio de medição:

Quando a luz entrante penetra na interface de diferentes matérias, uma parte da luz será refletida, devido à volatilidade da luz que leva a interferência da luz refletida de várias interfaces, o que faz com que o espectro de vários comprimentos de onda da luz refletida produza um fenômeno de oscilação. A partir da frequência de oscilação do espectro, a distância das diferentes interfaces pode ser determinada para obter a espessura do material (quanto mais oscilações representam maior espessura), e outras propriedades do material, como a refração e a rugosidade, também podem ser obtidas.

Exemplos de aplicação e membrana:

Camada de membrana de semicondutores	Tecnologia de exibição	Eletrônica de Consumo	Perelyn
Cola fotográfica	OLED	Revestimento impermeável	Produtos eletrônicos / placas de circuito
Camada dielétrica	ITO e TCO	Reconhecimento de radiofrequência	Materiais magnéticos
Arsenito de gálio	Espessura da caixa de ar	Células solares	Dispositivos médicos
Sistema Micromecânico	PVD e CVD	Película de ánodo de carcaça de alumínio	Borracha de silicone

Aplicações industriais comuns:

Fabricação de semicondutores	Monitor LCD	Revestimento óptico	Sistema Micromecânico MEMS
Cola fotográfica	Poliimida	Revestimento duro	Cola fotográfica
Óxidos/nitretos/SOI	Filme condutor transparente ITO	Revestimento anti-reflexo	Camada de membrana de silício
Polimento traseiro do wafer

Parâmetros do produto:

Comprimento de onda:	190nm-1700nm	Fonte de luz:	Lâmpadas de halogênio de tungstênio, lâmpadas de deutério
Requisitos de espessura de medição nk 1*:	50 nm	Precisão de medição 2:	0,02 nm
Precisão*: Tome o maior	1nm ou 0,2%	Estabilidade 3:	0,05 nm
Tamanho da amostra:	≤ Diâmetro 300 mm	Velocidade (com plataforma de vácuo):	5 pontos - 8 segundos 25 pontos - 21 segundos 56 pontos - 43 segundos

Tamanho da mancha	Diâmetro padrão de 500 microns	Diâmetro opcional de 250 microns	Opcional com diâmetro de 100 microns
Objetivo 5X	100 milímetros	50 μm	20 μm
Objetivo 10X	50 μm	25μm	10μm
Objetivo 15X	33 milímetros	17 milímetros	7μm
Objetivo 50X	10μm	5 μm	2μm

Medição automática da espessura da película óptica FilmetricsDiagrama de medição:

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