Medidor de resistência de quatro sondas KLA

Medidor de resistência de quatro sondas KLAÉ um produto de medição de resistência da KLA. Desde a fabricação de semicondutores até a eletrônica flexível necessária para implementar a tecnologia vestível, o monitoramento de resistência de película fina é importante para qualquer indústria que utilize película condutora. O medidor de resistência de quatro sondas KLA R54 é funcionalmente otimizado para mapeamento da uniformidade da película metálica, caracterização da injeção de íons e propriedades de refrescamento, medição da espessura e resistência da película e medição da espessura da película sem contato.

Vantagens:

• Edição personalizada de pontos de teste, incluindo coordenadas retangulares, lineares, polares e configurações personalizadas

• Opcional para amostras redondas de até 300 mm ou A4 (210 mm * 297 mm)

• Resistência de película fina condutora e semicondutora, 10 níveis de quantidade

• Pode ser configurado com quatro sondas (4PP) ou modo de turbulença sem contato (EC)

• Sistema fechado para medir amostras sensíveis à luz ou ao ambiente

• Suporta a altura máxima da amostra de 15mm

• Plataforma X-Y de alta precisão

• Dimensões de sonda EC menores

• Correção automática de erro de altura da sonda EC

• Sonda de medição de resistência de película fina KLA compatível;

Princípio de medição:

A sonda de quatro pontos (4PP) é uma sonda composta por quatro sondas condutoras que tocam a superfície da camada condutora com força controlada, com uma camada de bloqueio não condutora entre a camada condutora medida e o substrato. A configuração de sonda de medição padrão consiste em aplicar corrente entre as duas sondas externas e medir a tensão entre as duas sondas internas. Ao medir a resistência da película fina, a espessura da camada condutora deve ser inferior a 1/2 da distância entre as duas sondas. A KLA desenvolveu a tecnologia de dois modos no medidor de resistência de quatro sondas R54, que permite medir a tensão na sonda de intervalo e configura a correção dinâmica do efeito de limite e a compensação de erros de intervalo da sonda. A KLA oferece uma ampla gama de tipos de sondas para aplicar e otimizar medições de caracterização das propriedades de diferentes materiais de superfície e pode ser usada em quase qualquer película condutora ou camada de injeção de íons.

O fluxo turbulento elétrico (EC) é uma tecnologia de medição de película condutora sem contato. A corrente temporária é aplicada através da bobina para gerar um campo magnético temporário que, quando se aproxima da superfície condutora, gera uma corrente temporária de indução (vortex) nessa superfície. Essas correntes turbulentas, por sua vez, geram seu próprio campo magnético de variação temporal, que se acopla à bobina da sonda e produz mudanças de sinal proporcionais à resistência da amostra. A tecnologia EC especial da KLA, com uma única sonda localizada no topo da amostra, permite ajustar dinamicamente a altura da sonda em cada ponto de medição, o que é importante para a precisão e repetibilidade da medição. O método EC não é afetado pelo tamanho da sonda ou pela oxidação da superfície e é ideal para amostras mais suaves ou outras que não são adequadas para medições com o método de contato 4PP.

Aplicações da indústria:

Aplicação do produto:

A homogeneidade da película metálica

A uniformidade da resistência da película é importante para garantir o desempenho do componente e a maioria das películas metálicas pode ser medida por 4PP e EC. EC é recomendado para filmes metálicos de alta condutividade mais grossos e 4PP é adequado para filmes metálicos mais finos (> 10Ω / sq), mas, de qualquer forma, 4PP / EC mostra alta correlação, de modo que qualquer método pode ser usado para obter resultados precisos. Os mapas de resistência do medidor de resistência de quatro sondas KLA R54 podem caracterizar a uniformidade da película fina, a massa do sedimento e outras flutuações do processo.

Caracterização da injeção de íons

O método 4PP é a técnica de medição padrão para medir o processo de injeção de íons. Os pontos quentes e frios podem ser identificados através de testes de distribuição de injeção de íons após a fusão térmica devido a falhas de lâmpada, mau contato de wafer/plataforma ou mudanças na dose de injeção. Para a camada de injeção de íons de silício, o processo de cozimento térmico é necessário para ativar íons dopados.

Espessura da película / resistência / resistência da película

Com os dados de wafer coletados, o medidor de resistência de quatro sondas KLA R54 pode mapear a resistência de película fina, a espessura da película fina ou a distribuição da resistência. A distribuição da espessura da membrana pode ser calculada e exibida ao inserir a resistência do material; Ou, inserindo dados de espessura da membrana, a distribuição da resistência pode ser calculada.

Coleta de dados e visualização

O software RSMapper do medidor de resistência de quatro sondas KLA R54 combina as funções de coleta e análise de dados com uma interface de visualização intuitiva para uso no próprio dispositivo ou offline. O software vem com várias ferramentas de layout de coordenadas para ajudar os usuários a configurar facilmente os pontos de medição dos dados.

Parâmetros do produto:

Medidor de resistência de quatro sondas KLADiagrama de medição: