Alimentação RF AE Cesar 0230 2MHz 3000W

Alimentação RF AE Cesar 0230 2MHz 3000WGerador RFÉ um excelente gerador de RF comprovado em campo com desempenho confiável e capacidade de saída estável, demonstrando excelente estabilidade de processo e capacidade de controle de saída na validação real. Este tipo de fonte de energia de rádio-frequência pode alcançar o controle preciso da saída de rádio-frequência, amplamente utilizado no processo de pulverização de semicondutores, CVD、PECVD、 Em processos como a gravação, e com excelente desempenho. A fonte de energia de radiofrequência da série Cesar tem uma excelente capacidade de formação de filme, no processo de película de semicondutores, com a velocidade de formação de filme rápida, alta eficiência e boas vantagens de qualidade, em certa medida, pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto acabado, com uma ampla gama de aplicações.

Alimentação RF AE Cesar 0230 2MHz 3000WGerador RFEspecificações do parâmetro:

Marca do equipamento: AE (Advanced Energy)

Modelo: Cesar 0230

Entrada de alimentação AC: 3 fase ~ + PE, 200V ~, 50 / 60Hz, 20.0A

Saída RF: 3000W, ~ 615V, 2MHz

Interfaces de comunicação: RS-232, User Port, Matchbox, Diagnostic

Equipamento de refrigeração: refrigeração a ar + refrigeração a água