Alimentação RF AE Paramount MF 15002 15KW

Alimentação RF AE Paramount MF 15002 15KWGerador RF 1.8-2.17MHzÉ uma fonte de energia de radiofrequência de alto desempenho com capacidade de saída estável e capacidade de controle comprovada a longo prazo no local, demonstrando excelente estabilidade do processo durante a operação real. A série de fontes de energia de RF da AE Paramount tem uma excelente capacidade de formação de filme, amplamente utilizada no processo de película fina de semicondutores. Esta fonte de energia de RF é rápida e eficiente, e pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto em alguma medida. A fonte de alimentação de RF MF 15002 permite o controle preciso da saída de RF, pulverização em processos de semicondutores, CVD、PECVD、 Há mais aplicações e bom desempenho no processo de gravação.

Alimentação RF AE Paramount MF 15002 15KWEspecificações de parâmetros

Marca do equipamento: AE (Advanced Energy)

Modelo do dispositivo: Paramount MF 15002

Entrada de alimentação AC: 3 fase ~ + PE, 200 ~ 208V, 50 / 60Hz, 70A

Saída RF: 15KW, 1.8 ~ 2.17MHz, <1000Vrms

通讯接口： Sincronizar Entrada/Saída, CEX Entrada/Saída, Match, Usuário, Serial, ENET

Equipamento de resfriamento: resfriamento a água

Requisitos de entrada de água refrigerada: pressão máxima de entrada de água 6.9Bar / 690kPa