MKS fonte de alimentação RF RD5060Z 60MHz 2000W

MKS fonte de alimentação RF RD5060Z 60MHz 2000WGerador RFÉ um excelente gerador de RF comprovado em campo com desempenho confiável e capacidade de saída estável, demonstrando excelente estabilidade de processo e capacidade de controle de saída na validação real. Este tipo de fonte de energia de rádio-frequência pode alcançar o controle preciso da saída de rádio-frequência, amplamente utilizado no processo de pulverização de semicondutores, CVD、PECVD、 Em processos como a gravação, e com excelente desempenho. A fonte de energia de RF RD5060Z tem uma excelente capacidade de formação de filme, no processo de película de semicondutores, com a velocidade de formação de filme rápida, alta eficiência, boas vantagens de qualidade, em certa medida, pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto acabado, com uma ampla gama de aplicações.

MKS fonte de alimentação RF RD5060Z 60MHz 2000WGerador RFEspecificações de parâmetros

Marca do equipamento: MKS

Modelo do equipamento: RD5060Z

Entrada de alimentação AC: 3 fase ~, 480V, 15A

Saída RF: DUAL 2.0KW, 60MHz

通讯接口： CEX Entrada/Saída, Profibus, EtherNet, Sincronização Entrada/Saída, Reservado, RS-232C

Equipamento de resfriamento: resfriamento a água

Peso do equipamento: 445kg, 98lbs