Alimentação RFG 3001 13.56MHz 3KW

Alimentação RFG 3001 13.56MHz 3KWGerador RFÉ uma fonte de energia de radiofrequência de alto desempenho comprovada a longo prazo com excelente estabilidade do processo e capacidade de controle, capaz de alcançar o controle preciso da saída de radiofrequência, com excelente desempenho em pulverização de semicondutores, gravação, CVD, PECVD e outros processos de processamento.As fontes de alimentação de RF da série AE RFG oferecem uma excelente estabilidade de processo e capacidade de controle de RF, permitindo um controle preciso das saídas de RF. A fonte de energia de RF da série RFG tem uma boa capacidade de formação de filme, velocidade de formação de filme rápida e alta eficiência, com uma ampla aplicação no processo de filme de processo de semicondutores, que pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto em algum grau. Este tipo de fonte de energia de rádio-frequência como um todo tem um design compacto, compacto e conveniente, que pode reduzir os custos de uso do cliente.

Alimentação RFG 3001 13.56MHz 3KWGerador RFEspecificações de parâmetros

Marca do equipamento: AE (Advanced Energy)

设备型号：RFG 3001

Entrada de alimentação AC: 3 fase ~ 208V / PE, 50 / 60Hz

Saída RF: 13.56MHz, 3000W, 387V~

Interface de comunicação: Control, CEX

Equipamento de resfriamento: resfriamento a água

Requisitos de entrada de água refrigerada: pressão máxima de entrada de água 6.9Bar / 690kPa