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Jiangsu Shenzhou Semicondutor Tecnologia Co., Ltd.
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Alimentação RFG 5500 MN3155051-015

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A fonte de energia de RF AE RFG 5500 MN3155051-015 é uma fonte de energia de RF altamente eficiente e estável amplamente utilizada na fabricação de semicondutores.

Detalhes do produto

Alimentação RFG 5500 MN3155051-015,5000W 13.56MHz,ASISdisponível, em boas condições, pode enviar.PN:27-115617-00; MN:3155051-015。

Alimentação RFG 5500 MN3155051-015É uma fonte de energia de radiofrequência de alto desempenho comprovada a longo prazo com excelente estabilidade do processo e capacidade de controle, capaz de alcançar o controle preciso da saída de radiofrequência, com excelente desempenho em pulverização de semicondutores, gravação, CVD, PECVD e outros processos de processamento. As fontes de alimentação de RF da série AE RFG oferecem uma excelente estabilidade de processo e capacidade de controle de RF, permitindo um controle preciso das saídas de RF. A fonte de energia de RF da série RFG tem uma boa capacidade de formação de filme, velocidade de formação de filme rápida e alta eficiência, com uma ampla aplicação no processo de filme de processo de semicondutores, que pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto em algum grau. Este tipo de fonte de energia de rádio-frequência como um todo tem um design compacto, compacto e conveniente, que pode reduzir os custos de uso do cliente.


Especificações do RFG 5500

Marca do equipamento: AE (Advanced Energy)

Modelo do dispositivo: RFG 5500

Entrada de energia AC: ~ 208V, 3 fase ~, 50 / 60Hz, 10.0kW

Saída RF: 13,56 MHz, 5000W

Equipamento de resfriamento: resfriamento a água