MKS fonte de energia RF 53-S30-64 63.87MHz 18KW

MKS fonte de energia RF 53-S30-64 63.87MHz 18KW Gerador RFÉ um excelente gerador de RF comprovado em campo com desempenho confiável e capacidade de saída estável, demonstrando excelente estabilidade de processo e capacidade de controle de saída na validação real. Este tipo de fonte de energia de rádio-frequência pode alcançar o controle preciso da saída de rádio-frequência, amplamente utilizado no processo de pulverização de semicondutores, CVD、PECVD、 Em processos como a gravação, e com excelente desempenho. A fonte de energia de RF RD5060Z tem uma excelente capacidade de formação de filme, no processo de película de semicondutores, com a velocidade de formação de filme rápida, alta eficiência, boas vantagens de qualidade, em certa medida, pode melhorar a eficiência da linha de produção e a eficiência do produto acabado, com uma ampla gama de aplicações.

MKS fonte de energia RF 53-S30-64 63.87MHz 18KW Especificações do RF Generator

设备品牌：MKS

Número de equipamento: 53-S30-64

Entrada de alimentação AC: 3 fase ~, 380/400 VAC ± 10%, 16A, 50/60Hz

Saída RF: 63.87MHz, 18KW Pulsed, 540Watts, 50Ω

Interface de comunicação: Remote, RS-232C

Equipamento de refrigeração: refrigeração a ar